Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng

Có thể đàm phánCập nhật vào12/13

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Bộ điều khiển lưu lượng khối V Series MFC là thiết bị được sử dụng để kiểm soát chính xác lưu lượng khí khối, MFC có thể được áp dụng cho cả quá trình bán dẫn phía trước, chẳng hạn như ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP và các thiết bị khác, nhưng cũng có một thị trường đáng kể trong năng lượng quang điện, sơn chân không và các lĩnh vực khác. $r$nMFC có hiệu quả trong việc cung cấp tỷ lệ tốt hơn thông qua việc kiểm soát chính xác lưu lượng khí.

Chi tiết sản phẩm

Bộ điều khiển lưu lượng chất lượngDòng V MFC

Bộ điều khiển lưu lượng chất lượngVG80 loạt MFC là các bộ phận được sử dụng để kiểm soát lưu lượng khí khối lượng với các tính năng sau:1：

Thiết kế dute: Áp dụng thiết kế dute "van đôi+giảm áp suất+cảm biến vị trí".
Hiệu suất youyue: Tốc độ đáp ứng nhanh, thời gian khởi động và dừng ≤100ms; Độ chính xác đo cao, có thể đạt ± 0,5% SP; Phạm vi đo rộng, ở mức 2-100% FS; Khả năng tự chẩn đoán mạnh mẽ và chi phí bảo trì thấp.

Áp dụng kịch bản:MFC có thể được áp dụng cho cả quy trình bán dẫn trước, chẳng hạn như ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP và các thiết bị khác, nhưng cũng có một thị trường đáng kể trong năng lượng quang điện, sơn chân không và các lĩnh vực khác.MFC có thể cung cấp hiệu quả tỷ lệ tốt hơn thông qua kiểm soát chính xác lưu lượng khí.

Loạt sản phẩm này có thể được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn etch (khắc), CVD (lắng đọng hơi hóa học), PVD (lắng đọng hơi vật lý), ALD (lắng đọng lớp nguyên tử), MOCVD (lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại) và các thiết bị quá trình khác, cũng như MPCVD (lắng đọng hơi hóa học ion như lò vi sóng), giải nhiệt rã đông khô, tinh chế thạch anh, xử lý chất thải y tế và các lĩnh vực khác.

质量流量控制器

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị