Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng

Bộ điều khiển lưu lượng chất lượngDòng MFC P

Dòng P MFCBộ điều khiển lưu lượng chất lượngLà một thiết bị có hiệu suất cao và độ tin cậy trong lĩnh vực kiểm soát lưu lượng khí. Dưới đây là giới thiệu về một số tính năng và khía cạnh ứng dụng của nó:Áp dụng cải tiến van đơn+chênh lệch áp suất+vị trí cảm biến thiết kế đo lường độ chính xác ± �% S.P.(��% - ���% F.S.)Tốc độ đáp ứng ≤ ≤ ≤ ms(��% - ���% F.S.).

Tính năng

• Kiểm soát độ chính xác cao: Sử dụng công nghệ cảm biến tiên tiến và thuật toán điều khiển, có thể đạt được kiểm soát lưu lượng chất lượng khí chính xác cao, có thể kiểm soát lỗi đo ở mức thấp hơn, đáp ứng các yêu cầu quy trình khác nhau về độ chính xác dòng chảy cao2。

• Phản hồi nhanh: Có thời gian đáp ứng ngắn hơn, có thể phản ứng nhanh chóng với sự thay đổi giá trị cài đặt lưu lượng, điều chỉnh lưu lượng khí nhanh chóng, đảm bảo sự ổn định và nhất quán của quá trình công nghệ2。

• Phạm vi rộng: Phạm vi bảo hiểm rộng, có thể được sử dụng trong các tình huống ứng dụng khác nhau từ lưu lượng nhỏ đến lưu lượng lớn hơn, có thể đáp ứng các yêu cầu khác nhau của quy trình khác nhau về kích thước lưu lượng khí2。

• Tương thích đa khí: Tích hợp nhiều loại cơ sở dữ liệu khí, hỗ trợ nhiều loại khí khác nhau, không cần cài đặt và chuyển đổi con người phức tạp, thuận tiện chuyển đổi các loại khí khác nhau để kiểm soát dòng chảy2。

• Khả năng thích ứng môi trường tốt: Sử dụng vật liệu và thiết kế chất lượng cao, có khả năng chống ăn mòn và chống nhiễu tốt hơn, có thể làm việc ổn định trong các điều kiện môi trường khác nhau và thích nghi với nhiều môi trường công nghiệp2。

• Vận hành và truyền thông thuận tiện: Được trang bị giao diện vận hành trực quan, thuận tiện cho người dùng để thiết lập tham số và giám sát, đồng thời hỗ trợ nhiều giao thức truyền thông, có thể dễ dàng tích hợp với máy chủ hoặc hệ thống điều khiển khác để nhận ra hoạt động từ xa và điều khiển tự động.

Lĩnh vực ứng dụng

• Sản xuất SemiconductorTrong quá trình bán dẫn, chẳng hạn như khắc, lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng hơi vật lý (PVD), v.v., kiểm soát chính xác dòng chảy của các loại khí quá trình khác nhau là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng và tính nhất quán của sản xuất chip. Ví dụ, trong quá trình khắc, dòng chảy của các khí khắc như carbon tetrafluoride, lưu huỳnh hexafluoride được kiểm soát chính xác để đảm bảo phản ứng khắc được thực hiện với tốc độ và hướng đã định trước; Trong quá trình CVD, dòng khí phản ứng như silane và amoniac được kiểm soát chính xác để đảm bảo thành phần hóa học, độ dày và chất lượng của màng lắng đọng đạt tiêu chuẩn.

• Dược phẩm sinh học: Trong nghiên cứu và phát triển dược phẩm, lên men sinh học và các lĩnh vực khác, được sử dụng để kiểm soát chính xác dòng chảy của các loại khí khác nhau, chẳng hạn như kiểm soát tỷ lệ cung cấp oxy, carbon dioxide và các loại khí khác trong quá trình nuôi cấy tế bào, để tạo ra môi trường phát triển tế bào thích hợp; Trong sản xuất thuốc, việc bổ sung chính xác các loại khí vi lượng cũng đòi hỏi MFC có độ chính xác cao.

• Sản xuất hóa chất: Trong quá trình tổng hợp hóa chất, hóa chất tốt và các quá trình khác, nó được sử dụng để kiểm soát dòng chảy của tất cả các loại khí phản ứng và khí thô, để đảm bảo tiến trình trơn tru của phản ứng hóa học và ổn định chất lượng sản phẩm. Ví dụ, trong một số phản ứng tổng hợp hữu cơ, dòng khí như hydro và nitơ được kiểm soát chính xác để điều chỉnh tốc độ và tính chọn lọc của phản ứng.

• năng lượng mới: Trong lĩnh vực năng lượng mới, chẳng hạn như quá trình sản xuất và thử nghiệm pin nhiên liệu, cần phải kiểm soát chính xác dòng chảy của khí hydro, oxy và các loại khí khác để đảm bảo hiệu suất và sự ổn định của pin nhiên liệu; Trong quá trình sản xuất pin mặt trời, MFC cũng được sử dụng để kiểm soát lưu lượng khí của quá trình liên quan.