ATM đến chân không cực cao TripleGauge®

Trigon ™ BCG552ATM đến chân không cực cao TripleGauge ®

TripleGauge ® BCG552 tích hợp 3 yếu tố cảm biến chân không trong một mặt bích cảm biến. flagship của dòng TrigonTM mới này có phạm vi đo cực rộng, từ UHV (5 x 10)-10Đến ATM (1500 mbar) Nhờ có cảm biến ATM bổ sung, BCG552 có thể được sử dụng để đo chênh lệch áp suất và được sử dụng làm công tắc chân không trong một số ứng dụng. Dây tóc đôi Bayard Alpert được hỗ trợ cung cấp độ chính xác, khả năng lặp lại và tuổi thọ tuyệt vời trong phạm vi UHV và HV, trong khi máy đo chân không màng điện dung mini cung cấp độ chính xác tuyệt vời trong phạm vi ATM và không bị ảnh hưởng bởi loại khí.

Ưu điểm:

• 1, 3+1 yếu tố cảm biến, phạm vi đo cực rộng, giảm chi phí và tiết kiệm không gian

• 2, Thiết kế dây tóc đôi

• 3, Đo áp suất độc lập với loại khí (trên 10 torr) cung cấp kiểm soát khóa tải đáng tin cậy hơn cho bất kỳ loại khí hỗn hợp nào.

• 4, Đo chênh lệch áp suất loại bỏ sự không chắc chắn liên quan đến sự thay đổi áp suất khí quyển

• 5, Tự động chân không cao điều chỉnh pilani làm giảm sự can thiệp của người vận hành

• 6. Các linh kiện điện tử cách ly điện có thể tránh được dòng điện đi lạc

• 7, Chế độ xả trượt để tránh hiện tượng nhảy áp suất và đóng băng khi chuyển đổi dòng xả

• 8, Đặt rơle điểm

• 9, Màn hình OLED lớn sáng (có thể xoay 90 °) với giao diện người dùng

• 10, đầu ra analog, giao diện nối tiếp RS232C, EtherCAT ® Giao diện

• 11, Có thể làm việc với loạt điều khiển VGC50x

• Tương thích ngược với TripleGauge ® BCG450

• 13, Tuân thủ RoHS

Ứng dụng tiêu biểu:

• 1, Đo áp suất trong quy trình bán dẫn, truyền tải và buồng khóa tải

• 2, Lớp phủ công nghiệp

• 3, Đo chân không chung và kiểm soát các hệ thống trong phạm vi chân không thấp đến cực cao

•