ATM để siêu cao chân không đôi chân không mét

Trigon ™ BPG5525ATM để siêu cao chân không đôi chân không mét

Đối với phạm vi đo yêu cầu từ UHV (5 x 10)-10ứng dụng cho ATM (1000 mbar), Trigon ™ Dòng sản phẩm bao gồm máy đo chân không công nghệ kép BPG552. BPG552 bao gồm một yếu tố cảm biến nhiệt điện Bayard Alpert và một yếu tố cảm biến Pilani cổ điển, mạnh mẽ và đáng tin cậy. Dây đôi Bayard Alpert được hỗ trợ cung cấp độ chính xác, khả năng lặp lại và tuổi thọ.

VacXplor là phần mềm người dùng mô-đun của chúng tôi được thiết kế để nâng cao trải nghiệm của bạn với máy đo chân không INFICON Trigon. VacXplor cung cấp một giao diện thống nhất, trực quan hóa dữ liệu động và các tùy chọn tùy chỉnh nâng cao mà không cần quyền quản trị khi cài đặt.

Ưu điểm:

1, Dụng cụ đo kép (2 yếu tố cảm biến), phạm vi đo rộng, giảm chi phí và tiết kiệm không gian

2, 2 dây tóc cho hệ thống Bayard Alpert

3, Pirani interlocking bảo vệ, tránh đốt cháy dây tóc sớm

4, Tự động chân không cao điều chỉnh pilani, giảm sự can thiệp của người vận hành

5, Các thành phần điện tử cách ly điện để tránh dòng điện đi lạc

6, Chế độ xả trượt để tránh hiện tượng nhảy áp suất và đóng băng khi chuyển đổi dòng xả

7, Chip dữ liệu hiệu chuẩn di động kéo dài thời gian nướng

8, Đặt rơle điểm

9, Màn hình OLED lớn sáng (có thể xoay 90 °) với giao diện người dùng

10, đầu ra analog, giao diện nối tiếp RS232C, EtherCAT ® Giao diện

11, Có thể làm việc với loạt điều khiển VGC50x

12, Tương thích ngược BPG402

13, Tuân thủ RoHS

Ứng dụng tiêu biểu:

• 1, Đo áp suất trong quá trình bán dẫn

• 2, Lớp phủ công nghiệp

• 3, Đo chân không chung và kiểm soát phạm vi chân không cực cao của hệ thống trong phạm vi chân không thấp đến cực cao