Bảng bốc hơi ULVAC ei-5z Series

Có thể đàm phánCập nhật vào03/19

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Thông số kỹ thuật chính:

Chi tiết sản phẩm

Giới thiệu sản phẩm:

ULVAC ei-5zLoạt thiết bị bay hơi chân không cao là một bảng bay hơi đa chức năng có thể được lắp đặt đồng thời với sự bốc hơi chùm tia điện tử và nguồn hơi nóng. Nó có thể được sử dụng cho tất cả các loại kim loại, hợp kim và lớp phủ bay hơi phi kim loại. Nó có thể làm cho quá trình bay hơi tới thẳng đứng. Nó có thể được thiết kế xuyên tường, sử dụng điều khiển hoàn toàn tự động, ổn định và hiệu quả cao.

Thông số kỹ thuật chính:

· Thích hợp cho 2-8inch hình dạng khác nhau của Si, GaAs, gốm thủy tinh và các chất nền khác;

· Áp dụng bơm thấp, có thể đạt 3,0 * 10 trong vòng 20 phút^-4Pa， Áp suất tối đa có thể đạt được3.0*10^-5Pa hoặc thấp hơn；

· Áp dụng bó điện tử hoặc nguồn hấp nóng, vách ngăn được chia sẻ;

· Độ đồng nhất của độ dày màng tốt hơn ± 5%;

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị