Danh mục sản phẩm

Thượng Hải Yan Quality Kiểm tra Thiết bị Công ty TNHH

Thông tin E-mail
yanzhijiance01@yeah. net
Điện thoại
134-7259-2873
Địa chỉ
Số 3, ngõ 1998, đường Jinbi, quận Fengxian, Thượng Hải

Liên hệ bây giờ

Kính hiển vi 3D chất lượng cao

Có thể đàm phánCập nhật vào09/18

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Máy đo giao thoa quang 3D dòng CHT-X6 được xây dựng trên các công nghệ như giao thoa kế pha (PSI), giao thoa kế quét dọc ánh sáng trắng (VSI) và giao thoa kế quét dọc ánh sáng đơn sắc (CSI) để đo độ chính xác và độ lặp lại (ổn định) ở cấp độ nano, phản ánh định lượng độ nhám bề mặt của vật được đo, đường viền bề mặt, chiều cao bước, kích thước của các bộ phận quan trọng và đặc điểm hình dạng của chúng, v.v. Ứng dụng rộng rãi vào chế tạo mạch tích hợp, MEMS、 Hàng không vũ trụ, gia công chính xác, công nghệ kỹ thuật bề mặt, vật liệu, công nghệ pin mặt trời và các lĩnh vực khác.

Chi tiết sản phẩm

Tính năng sản phẩm

1) Đo độ nhám đặc trưng cho hình dạng vi mô;

2）Bước ⾼, ⻆ độ và các thước đo hồ sơ khác ⼨ đo lường;

3）💙 Lấy nét động, 💙 Tìm sọc động, 💙 Điều chỉnh độ sáng động, v.v. 💙 Chức năng hỗ trợ tự động hóa;

4）Chức năng xử lý dữ liệu như cân bằng, sửa chữa hình ảnh, khử nhiễu và lọc, trích xuất khu vực;

5）Các chức năng phân tích phụ trợ như phân tích ⽐ và phân tích nhiều mảnh.

Đo lường

1）👂 Đo lường tiếp xúc: 👂 Thu thập bảng thiệt hại 👌 Thông tin hình dạng;

2）⾼ Độ chính xác: Độ nhám/Thông tin đường viền Độ chính xác đo 1nm;

3）Đo nhanh: lấy nét nhanh, quét nhanh, xử lý xây dựng lại nhanh;

4）Ổn định: Khả năng chống rung và chống nhiễu tốt, thích nghi với môi trường hoạt động phức tạp.

Phân tích

1）Trực quan hóa dữ liệu: cung cấp một triển lãm trực quan hóa dữ liệu ⽰ để quan sát trực tiếp ⼲ liên quan đến các mẫu và kết quả đo lường;

2）Trong khi đó, cũng ⽀ xuất dữ liệu sang định dạng ⽂ thường ⻅ và tiến tới ⼀ phân tích dữ liệu;

3）Chức năng phân tích dữ liệu mạnh mẽ: thông qua các thuật toán xử lý hình ảnh và phần mềm phân tích cấp độ, người dùng có thể tiến tới trích xuất pha, phân tích cấu trúc liên kết bảng;

4）Nhiều phân tích như tính toán độ dày của màng mỏng, dẫn đến kết quả kiểm tra chi tiết hơn và mô tả đầy đủ hơn.

Lợi thế sản phẩm

1）Không tiếp xúc, nhanh chóng và linh hoạt, hệ thống phát hiện quang điện tử mạnh mẽ;

2）Thiết bị có kích thước đường viền và chức năng đo độ nhám đặc trưng cho hình dạng vi mô;

3）Thiết bị có chức năng nối tự động, có thể nhanh chóng nhận ra các phép đo khâu nối của các khu vực lớn;

4）Thiết bị có phần mềm đo lường và phân tích hoạt động tích hợp, thiết lập trước các thông số cấu hình trước khi đo, phần mềm tự động thống kê dữ liệu đo và cung cấp chức năng xuất báo cáo dữ liệu, có thể nhanh chóng đạt được chức năng đo hàng loạt;

5）Thiết bị có chức năng xử lý dữ liệu điều chỉnh vị trí, sửa chữa, lọc và trích xuất bốn mô-đun lớn;

6）Thiết bị có năm chức năng phân tích chính như phân tích độ nhám, phân tích hồ sơ hình học, phân tích cấu trúc, phân tích tần số và phân tích chức năng;

7）Thiết bị có các chức năng phân tích phụ trợ như phân tích một cú nhấp chuột và phân tích đa tệp, cho phép phân tích nhanh các tệp dữ liệu hàng loạt.

Ứng dụng công nghiệp

1）Ứng dụng đo lường kim tự tháp Suede

Ⅰ Bề mặt 3D chiều, cấu trúc 2D;

Ⅱ Đo chiều cao và chiều rộng của các kim tự tháp riêng lẻ;

Chức năng đếm kim tự tháp: có thể tự động thống kê số lượng hạt trong một đơn vị diện tích và đánh dấu vị trí hạt bằng dấu thập tự trên quan điểm, bố trí số lượng kim tự tháp với các thông số kỹ thuật khác nhau.

绒面金字塔测量应用

2）Đo đường lưới

Chiều cao dây lưới, chức năng đo rộng;

Ⅱ Số lượng đường cắt trong trường nhìn đơn;

Chức năng phân chia khu vực hàng rào tự động;

Chức năng đo tự động của dây lưới Ⅳ.

栅线测量

3）Mạch tích hợp wafer trở lại mỏng roughness

集成电路晶圆背面减薄粗糙度

4）Perovskite phim công nghệ năng lượng mặt trời khe laser đo chiều cao bước

钙钛矿薄膜太阳能技术激光槽测量台阶高度测量

Mô hình		Từ CHT-X6	Từ CHT-X62	Từ CHT-X63
Phạm vi du lịch	X	100mm	230mm	300mm
	Y	100mm	230mm	300mm
	Z	100mm	100mm	100mm
Kích thước tổng thể		520 × 380 × 600mm	720 × 580 × 1500mm	Số lượng: 1000 × 900 × 1500mm
Trọng lượng dụng cụ		50kg	400kg	500kg
Nguyên tắc đo lường		Hệ thống quang học co-focus
Kính hiển vi		Tiêu chuẩn: 10X Tùy chọn: 2.5X 5 ×, 20 ×, 50 ×, 100 ×
Phạm vi trường xem		120 × 120 μm ~ 1,2 × 1,2 mm
Đo chiều cao	Độ lặp lại * 1 (1σ)	≤0,1% 1σ
	Hiển thị độ phân giải	0.1nm
Đo chiều rộng	Độ lặp lại *²(1σ)	≤0.5%
	Độ chính xác *²	±1.5%
	Hiển thị độ phân giải	0.1nm
XY位移平台	Tải	10 kg
	Cách kiểm soát	Hướng dẫn sử dụng và tự động
Phạm vi quét trục Z0		100m
Mục tiêu tháp		5 lỗ điện
Nguồn sáng		Đèn LED trắng
Môi trường làm việc	Nguồn điện	100-240V AC, 50/60Hz, 2A điện 300W
	Nhiệt độ hoạt động	Nhiệt độ 15 ℃~30 ℃, gradient nhiệt độ<2 ℃/60 phút
	Độ ẩm tương đối	5%~95%RH， Không ngưng tụ
	Rung động môi trường	VC-C或更优
	Khác	Không có từ trường mạnh, không có khí ăn mòn

*1 Đo khối bước chuẩn 4,7 µm trong môi trường phòng thí nghiệm bằng cách sử dụng mục tiêu 50X.

*2 Sử dụng vật kính 50X để đo mẫu tiêu chuẩn trong môi trường phòng thí nghiệm.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị

Kính hiển vi 3D chất lượng cao

Xem chi tiết