Đồng hồ đo lưu lượng bộ điều khiển lưu lượng khối lượng Seven Star Huachuang

Đồng hồ đo lưu lượng bộ điều khiển lưu lượng khối lượng Seven Star Huachuang

Hướng dẫn sử dụng bộ điều khiển lưu lượng khối và đồng hồ đo lưu lượng khối 1. Sử dụng lưu ý của người dùng tôn trọng, cảm ơn bạn đã mua bộ điều khiển lưu lượng khối/sản phẩm đo lưu lượng khối dòng D07 do công ty chúng tôi sản xuất. Sổ tay hướng dẫn này trình bày chi tiết các vấn đề cần thiết để sử dụng đúng cách và an toàn các sản phẩm của dòng sản phẩm này. Người sử dụng sản phẩm, xin vui lòng tham khảo kỹ hướng dẫn sử dụng này và hiểu rõ, trong quá trình sử dụng, xin lưu ý tất cả nội dung trong văn bản có logo và các biện pháp phòng ngừa. Công ty có quyền không chịu trách nhiệm về thiệt hại tài sản hoặc thương tích cá nhân do không sử dụng theo hướng dẫn sử dụng. Khi bạn cài đặt, bảo trì và sửa chữa lỗi hướng dẫn này, hãy giữ nó cẩn thận. 2. Sử dụng và tính năng Đồng hồ đo lưu lượng khối (Mass Flow Meter viết tắt là MFM) được sử dụng để đo chính xác lưu lượng khối của khí; Bộ điều khiển dòng chảy khối lượng (Mass Flow Controller viết tắt MFC) được sử dụng để thực hiện các phép đo và kiểm soát chính xác dòng chảy khối lượng của khí. Chúng có ứng dụng quan trọng trong nghiên cứu khoa học và sản xuất trong nhiều lĩnh vực khác nhau bao gồm công nghiệp vi điện tử bán dẫn, phát triển vật liệu đặc biệt, công nghiệp hóa chất, công nghiệp dầu khí, dược phẩm, bảo vệ môi trường và chân không. Các ứng dụng điển hình của nó bao gồm: thiết bị xử lý điện tử, chẳng hạn như khuếch tán, oxy hóa, mở rộng, CVD、 Khắc plasma, phún xạ, tiêm ion; Và thiết bị sơn chân không, nóng chảy sợi quang, thiết bị vi phản ứng, hệ thống phân phối khí hỗn hợp, đo mao mạch, sắc ký khí và các dụng cụ phân tích khác. Bộ điều khiển lưu lượng khối và đồng hồ đo lưu lượng khối D07 Series có độ chính xác cao, độ lặp lại tốt, tốc độ phản ứng nhanh, khởi động mềm, ổn định và đáng tin cậy, phạm vi áp suất làm việc rộng (có thể hoạt động trong điều kiện áp suất cao hoặc chân không), dễ vận hành và sử dụng, có thể được cài đặt ở bất kỳ vị trí nào và dễ dàng kết nối với máy tính để đạt được điều khiển tự động. Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng dòng D07 và đồng hồ đo lưu lượng khối thường được sử dụng với bộ hiển thị lưu lượng dòng D08 và các sản phẩm khác, giữa bộ điều khiển và bộ hiển thị được kết nối bằng cáp đặc biệt

Đồng hồ đo lưu lượng bộ điều khiển lưu lượng khối lượng Seven Star Huachuang

3. Kỹ thuật chính đề cập đến bảng 1. Mô hình D07-19B MFC Chỉ số hiệu suất Mục D07-19B1 Thông số kỹ thuật lưu lượng (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) Độ chính xác SLM2 ± 1% FS (20,30SLM: ± 2% FS) 3 Tuyến tính ± 0,5% FS (20,30SLM: ± 2% FS) 4 Độ chính xác lặp lại ± 0,2% FS 2 sec6 Phạm vi chênh lệch áp suất làm việc ≤10 SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 Áp suất làm việc tối đa 1 MPa8 Điện áp chịu được 3 MPa (435,1 psig) 9 Nhiệt độ môi trường làm việc 5 ℃~45 ℃ 10 Tín hiệu đầu ra đầu vào 0 V~+5,00 V (trở kháng đầu vào lớn hơn 100K, dòng đầu ra không lớn hơn 3mA) 11 Nguồn điện+15 V 50 mA; - Kích thước tổng thể 15V 200 mA12 Xem Hình 413 Trọng lượng 0,95 kg LƯU Ý: Đồng hồ đo lưu lượng khối và bộ điều khiển lưu lượng khối thường được đánh dấu bằng khí nitơ (N2). Các đơn vị của dòng chảy khối lượng được quy định là: SCCM (tiêu chuẩn ml/phút); Tình trạng tiêu chuẩn SLM (Standard L/phút) được quy định là: Nhiệt độ --- 273,15K (0 ℃); Áp suất không khí - 101325 Pa (760mm Hg) tại trung tâm sản phẩm MFC/MFM của đồng hồ đo lưu lượng bảy sao, đơn vị SCCM và "mL/phút, 0 ℃, 1 atm" tương đương, đơn vị SLM và "L/phút, 0 ℃, 1 atm" tương đương. B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2) Mô hình D07-19BM MFM Chỉ số hiệu suất Mục D07-19BM1 Thông số kỹ thuật lưu lượng (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) Độ chính xác SLM2 ± 1% FS (20,30SLM: ± 2% FS) 3 Tuyến tính ± 0,5% FS (20,30SLM: ± 2% FS) 4 Độ chính xác lặp lại ± 0,2% FS 5 Thời gian đáp ứng ≤2sec6 Giảm áp suất không khí<0,02 MPa (2,9 psid) 7 Áp suất làm việc tối đa 1 MPa8 Chịu được điện áp 10 MPa (1450,4 psig) 9 Nhiệt độ môi trường làm việc 5 ℃~45 ℃ 10 Tín hiệu đầu ra 0 V~5,00 V (trở kháng đầu vào lớn hơn 100K, dòng đầu ra không lớn hơn 3mA) 11 Nguồn điện+15 V 50 mA - 15 V 50 mA12 Kích thước tổng thể Xem Hình 413 Trọng lượng 0,7 kg Các chỉ số kỹ thuật chính của mỗi mô hình sản phẩm xem Bảng 1 và Bảng 2. Loại D07-19BM là phần đo lưu lượng của loại D07-19B, MFM cùng loại giống như MFC trong phần đo lưu lượng. 4. Cấu trúc và nguyên tắc làm việc 4.1 Máy đo lưu lượng khối kết cấu bao gồm cảm biến lưu lượng, kênh chia và mạch khuếch đại lưu lượng và các thành phần khác; Trên cơ sở lưu lượng kế khối lượng, cùng với van điều chỉnh và mạch điều khiển PID tạo thành bộ điều khiển lưu lượng khối. Bộ điều khiển lưu lượng khối loại D07-19B, cấu trúc sau khi mở nắp bên ngoài được thể hiện trong Hình 2.