1Sản phẩm mới sau khi nâng cấp -Công nghệ quét môi trườngTrường phân biệt cao phát ra kính quét điện.
2Cấu hình đầy đủ.
QuattroKính quét phát xạ trường cung cấp cho người dùng cấu hình đầu dò điện tử thứ cấp với chân không cao, đầu dò điện tử thứ cấp với chân không thấp, đầu dò điện tử thứ cấp trong chân không môi trường, và đầu dò điện tử tán xạ ngược, và hồng ngoạiCCDThăm dò. Có thể đáp ứng tất cả các tình huống có thể gặp phải trong công việc sau này của người dùng, để giảm tối đa yêu cầu chuẩn bị mẫu của người dùng.
Chân không thấp/Công nghệ chân không môi trường cho phép các mẫu không dẫn điện và/Hoặc các mẫu chứa nước có thể được hình ảnh và phân tích trực tiếp mà không cần xử lý dẫn điện, không có hiện tượng tích tụ điện tích trên bề mặt mẫu.
3Công nghệ quang học điện tử độc đáo, trường bắn súng điện tử, ống kính cố định,60°/45°Hai giai đoạn côn cực giày, công nghệ tập trung chính xác khoảng cách làm việc lớn, vv, có thể thực hiện cả hai mẫu dẫn và không dẫnEDS/EBSDPhân tích, trong chế độ chân không cao, chế độ chân không thấp, hoặc chế độ chân không môi trường.
Dòng chảy lớn ổn định(Tối đa200 nA)Đảm bảo tính phổ biến vàEBSDPhân tích nhanh chóng và chính xác.
4Xuyên thấu kính.”Thiết kế hệ thống chân không chênh lệch áp suất
Buồng mẫu và hộp mực của kính hiển vi điện tử quét chân không cao thông thường đều ở trạng thái chân không cao, yêu cầu mẫu được phân tích phải là mẫu dẫn điện của chất rắn, nếu mẫu không rắn và dẫn điện, cần xử lý mẫu để mẫu đạt yêu cầu. Tuy nhiên, trong số các mẫu gặp phải trong công việc nghiên cứu, mẫu rắn dẫn điện chỉ là một phần rất nhỏ, thông thường chúng ta cũng gặp phải mẫu rắn không dẫn điện, mẫu rắn bề mặt chứa nước, dầu và mẫu không rắn.
Trong kính hiển vi điện tử quét môi trường, thông qua thiết kế hệ thống chân không đặc biệt, hai máy bơm khác nhau được sử dụng trong ba khu vực đểHút chân không, độ chân không của buồng mẫu giảm, cho phép các mẫu không thích nghi với độ chân không cao được giữ nguyênTrạng thái, quan sát và phân tích trong kính hiển vi điện tử quét.
Trong khi đó, phần ống kính của kính hiển vi điện tử quét vẫn ở trạng thái chân không cao, đáp ứng các yêu cầu của hệ thống quang học điện tử. Trong kính hiển vi điện tử quét môi trường, trạng thái ban đầu của các mẫu chứa nước và mẫu sinh học có thể được duy trì bằng cách nạp hơi nước vào buồng mẫu. Áp suất khí trong buồng mẫu của kính hiển vi điện tử quét môi trường FEI/Philips có thể thay đổi từ 10Pa đến 4000Pa để đạt được sự cân bằng của nước trong mẫu hoặcTiến hành kiểm tra mất nước, tăng độ ẩm mẫu.
5Máy dò điện tử thứ cấp
Trong kính hiển vi điện tử quét chân không cao thông thường, sử dụngE‐TMáy dò điện tử thứ cấp. Máy dò này không hoạt động ở trạng thái chân không thấp. Để có thể phát hiện tín hiệu điện tử thứ cấp ở trạng thái chân không thấp trong buồng mẫu,FEI/Philips phát triển máy dò điện tử thứ cấp chân không thấpGSED。
GSEDĐộ phân giải của máy dò điện tử thứ cấp có thể đạt được< 1.4 nmChỉ tiêu độ phân giải giống như kính chân không cao bình thường. Và,GSEDMáy dò đã vượt qua.E‐TNhược điểm của máy dò, có thể quan sát các mẫu phát sáng, nóng.
6、Thiết kế thùng mẫu đặc biệt284mmThùng mẫu lớn, đúc nguyên khối, được điều khiển hoàn toàn tự động trong động cơ 5 trục, đảm bảo gấp đôi cho người dùng. Khi vận hành bằng tay, xT‐ Phần mềm điều khiển gương cũng giám sát hoạt động của bảng mẫu,Đảm bảo tính độc đáo của tọa độ trên mẫu. Chức năng bộ nhớ vị trí mẫu và điều kiện quan sát cho phép người dùng ghi nhớ vị trí của các khu vực quan tâm và điều kiện gương điện,Vị trí và điều kiện quan sát có thể hồi phục bộ nhớ bất cứ lúc nào,Công tác phân tích so sánh thuận tiện cho người dùng.
7, giao diện hoạt động độc đáo của một cửa sổ và bốn cửa sổ
Nó có thể hiển thị hình ảnh điện tử thứ cấp, hình ảnh tán xạ phía sau, và hình ảnh hỗn hợp của chúng, cũng như hồng ngoạiCCDTheo dõi thời gian thực như
Như vậy có thể thu được toàn bộ thông tin. Chức năng vùng điều khiển được sử dụng rất nhân đạo,Chức năng điều khiển dễ tiếp cận.
8、Hồng ngoại đặc biệtCCDThiết kế
Hồng ngoạiCCDThiết kế thăm dò, không chỉ có thể theo dõi tình huống bên trong kho mẫu trong thời gian thực, đồng thời có thể thông qua cửa sổ này khống chế chuyển động của bàn mẫu, còn có thể lợi dụng giường trống này chụp ảnh thấp hơn để hướng dẫn.
9Quang lan phân tích cấp cuối.
Trong kính hiển vi điện tử quét chân không thấp nói chung, trong trạng thái chân không thấp, độ phân giải không gian và độ chính xác phân tích của phân tích phổ năng lượng giảm đáng kể, về cơ bản mất tính hữu ích của phân tích phổ năng lượng. Trong kính hiển vi điện tử quét môi trường,FEI/Phi - li - pin cấu hình phân tích cuối cùng,Có thể đảm bảo độ phân giải không gian và độ chính xác phân tích của phân tích phổ năng lượng ở trạng thái chân không thấp.
10Công nghệ quét kỹ thuật số
Trong kính quét Quattro,FEI/Philips áp dụng công nghệ quét chùm tia điện tử kỹ thuật số,Thông qua QuantaXT‐ Phần mềm điều khiển hoạt động trên gương điện,Hay là thiết bị phân tích của bên thứ ba.,Tất cả đều dựa trên cấu trúc mạng để kiểm soát quét kỹ thuật số. Ví dụ,Nếu người dùng ở QuantaHệ thống phổ năng lượng gắn trên,Công ty cung cấp dịch vụ QuantaĐầu dò phổ năng lượng được thiết kế để lắp đặt trongQuattroTrên phòng mẫu,Hãy biến nó thànhQuattro Thiết kế phân tích phổ năng lượng Thông quaQuattroNetwork Hub được cung cấp để kết nối mạng,Máy quang phổ có thể đi qua.QuattroMáy quét kỹ thuật số để kiểm soát việc quét chùm electron trên bề mặt mẫu.
11, Hệ thống chân không
Bơm ion, Bơm phân tử, Hệ thống bơm chân không cơ khí với FEI/Philips,Không ô nhiễm dầu,Tốc độ rút nhanh.
12Phòng thí nghiệm vi mô.
QuattroKính quét môi trường có thể được lắp đặt với bàn mẫu tại chỗ đặc biệt, chẳng hạn như bàn nóng, bàn lạnh và bàn kéo dài. Từ -165 °CĐến 1400 °CTrong phạm vi nhiệt độ, nhiều mẫu được phân tích tại chỗ động ở trạng thái ban đầu.