Lò kích hoạt CentroTherm Activator150

Có thể đàm phánCập nhật vào03/19

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Lò kích hoạt CentroTherm Activator150

Chi tiết sản phẩm

[Giới thiệu sản phẩm]

centrothermc. Dây chuyền sản xuất lò nhiệt độ cao ACTIVATOR 150 để ủ sau khi tiêm ion cho các thiết bị silicon carbide (SiC) hoặc gallium nitride (GaN) c. ACTIVATOR 150 có nhiều phiên bản khác nhau để sử dụng làm lò sưởi R&D và sản xuất hàng loạt với tính linh hoạt cao trong quy trình.Thiết kế gia nhiệt không kim loại độc đáo của Shang Chuang cho phép tăng nhiệt độ xử lý lên 2000 ° C và rút ngắn thời gian chu kỳ xử lý. Do dấu chân nhỏ và chi phí sở hữu thấp, c. ACTIVATOR 150 có lợi cho việc tăng hiệu quả chi phí sản xuất.

[Quy trình áp dụng]

· Ủ cho GaN và SiC wafer

· Sự phát triển của graphene

[Ưu điểm của sản phẩm]

· Hiệu quả kích hoạt cao

· Nhiệt độ quá trình ổn định tối đa lên đến 2000 ℃

· Hỗ trợ 2-6 inch wafer

· Có thể xử lý hàng loạt 5-50 wafer

· Tốc độ làm nóng lên đến 100K/phút

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị