Máy đo vi điện dung là một dụng cụ đo lường có độ chính xác cao dựa trên nguyên lý cảm biến điện dung. Nó chủ yếu được sử dụng để phát hiện không tiếp xúc các đại lượng vật lý như độ dịch chuyển nhỏ, độ dày, khoảng cách và rung. Nó được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chính xác, chất bán dẫn, công nghệ quang học, hàng không vũ trụ và các lĩnh vực khác có yêu cầu cao về độ chính xác đo lường. Nó là một bộ phận đo lường hỗ trợ quan trọng cho định vị nano áp điện, thiết bị xử lý vi nạp, v.v. Máy đo vi điện dung C2D18, sản phẩm mới của ngày mai, có khả năng đo hành trình lớn 2mm, trong khi thực hiện đột phá trong phạm vi, luôn giữ độ chính xác đo lường cấp nano, chú ý đến phạm vi rộng và nhu cầu cốt lõi chính xác cao.

I. Giới thiệu sản phẩm mới: Máy đo vi điện dung phạm vi 2mm C2D18

Máy đo điện dung cho phép đo chính xác số lượng nhỏ bằng cách chuyển đổi những thay đổi trong đại lượng vật lý được đo, chẳng hạn như sự dịch chuyển nhỏ, thành những thay đổi trong giá trị điện dung và sau đó chuyển đổi những thay đổi trong điện dung thành tín hiệu điện có thể đọc được thông qua mạch xử lý tín hiệu. Độ phân giải đo lường của nó có thể đạt đến cấp độ nano và là một trong những công cụ cốt lõi trong đo lường quy mô micro.

Trên cơ sở dòng sản phẩm Micrometer điện dung hiện có, chúng tôi đã thêm máy đo điện dung phạm vi 2mm C2D18, tiếp tục hoàn thiện phạm vi phủ sóng đầy đủ từ 100μm đến 2mm. Sản phẩm này nhằm mục đích gia công chính xác cao cấp, hỗ trợ hệ thống định vị Piezo, thử nghiệm công nghiệp và thử nghiệm nghiên cứu khoa học và nhiều kịch bản khác, cung cấp khả năng nhận thức cấp nano rộng hơn, cung cấp một chương trình toàn diện hơn cho các phép đo nhỏ đột quỵ lớn, đồng thời cho phép tính linh hoạt và phù hợp của chương trình đo tổng thể ngày càng hoàn thiện.

Ba ưu thế cốt lõi của sản phẩm mới:

▸ 1. Phạm vi đột phá, bao gồm một kịch bản rộng hơn: 2mm phạm vi siêu lớn so với sản phẩm 1mm ban đầu để tăng gấp đôi mở rộng, không cần thay đổi thiết bị thường xuyên, nó có thể đáp ứng nhu cầu đo lường đa quy mô từ micron đến milimet, phù hợp với một loạt các kịch bản phát hiện chính xác.

▸ 2. Giữ chính xác, tiếp tục hiệu suất cấp nano: độ phân giải và độ lặp lại duy trì mức nano, đảm bảo độ ổn định đo lường bằng cách tối ưu hóa thiết kế để bù đắp hiệu quả các tác động môi trường như trôi nhiệt độ, nhiễu điện từ; Độ tuyến tính duy trì độ chính xác nano ngay cả trong phạm vi đầy đủ 2mm.

▸ 3. Thích hợp với định vị áp điện toàn cảnh: có thể tương thích với bảng định vị nano áp điện lõi ngày mai, bộ điều khiển, hình thành giải pháp tích hợp "định vị - đo lường - sửa chữa vòng kín", đồng nhất sinh thái mạnh mẽ; Thời gian đáp ứng nhanh, có thể phù hợp với nhu cầu điều khiển vòng kín động.

II. Lĩnh vực ứng dụng của máy đo vi điện dung

Với những ưu điểm độc đáo như độ chính xác nano, đo không tiếp xúc, phản ứng nhanh và ổn định cao, máy đo vi điện dung đã trở thành công cụ cốt lõi trong lĩnh vực đo lường chính xác hiện đại và được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp có yêu cầu độ chính xác rất cao:

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Giám sát toàn bộ quá trình xử lý wafer: đo độ dày wafer và độ cong vênh, phân tích khuyết tật bề mặt, định vị phiên bản mặt nạ, phản hồi dịch chuyển đa trục của bàn wafer;

Đóng gói chip và thử nghiệm: căn chỉnh giữa các lớp đóng gói, áp suất liên kết chip và điều khiển khoảng cách, v.v.

2, Công nghệ quang học chính xác

Sản xuất linh kiện quang học: đo độ cong của ống kính, độ song song, độ dày trung tâm, kiểm soát độ dày lớp phủ của linh kiện quang học, hiệu chuẩn góc lăng kính quang học, phát hiện độ đồng đều độ dày của tấm OLED, đo độ cong của chất nền thủy tinh, v.v.

3, lĩnh vực sản xuất chính xác

Gia công và giám sát siêu chính xác: phát hiện độ chính xác quay trục chính của máy công cụ, đo độ thẳng của đường ray chính xác, giám sát độ mài mòn của khuôn, dịch chuyển cấu trúc vi nạp, phát hiện biến dạng và rung, v.v.

4, Lĩnh vực hàng không vũ trụ

Chế tạo máy bay: đo lường chính xác kích thước thân máy bay, phát hiện khoảng cách giữa các lớp vật liệu composite, các thành phần cốt lõi như phân tích rung động của cánh động cơ hàng không, giám sát tình trạng triển khai ván buồm mặt trời của tàu vũ trụ, v.v.

5, Ô tô và thiết bị năng lượng

Kiểm soát chất lượng sản xuất ô tô: phát hiện thay đổi độ dày đĩa phanh, đo độ phẳng của khối động cơ;

Sản xuất thiết bị năng lượng mới: đo độ dày tấm pin lithium, phát hiện độ dày thành phần điện cực màng pin nhiên liệu, giám sát biến dạng lưỡi gió, v.v.

6. Nghiên cứu khoa học và đo lường chung

Thiết bị phù hợp: nó có thể được sử dụng làm cảm biến giám sát vị trí bảng mẫu cho kính hiển vi thăm dò quét, kính hiển vi đồng tiêu điểm và các thiết bị khác, mở rộng phạm vi đo dọc của thiết bị;

Kiểm tra vật liệu và môi trường: kiểm tra mô đun đàn hồi của vật liệu composite, kiểm tra độ mỏi giám sát biến dạng nhỏ, chân không, nhiệt độ thấp, từ trường mạnh và các môi trường đặc biệt khác của phát hiện dịch chuyển và định vị chính xác mà không gây nhiễu, v.v.

Máy đo vi điện dung lõi ngày mai thích hợp cho định vị chính xác cao, đo rung góc/đường thẳng, phát hiện độ dày, đo khoảng cách cơ học quay, đo nhịp, lấy nét tự động hoặc làm 0, đo hằng số điện môi, định vị ống kính thiên văn, đo đường kính ngoài, đo biến dạng, v.v.

III. Tính năng cốt lõi của máy đo điện dung lõi ngày mai

1. Độ chính xác và độ phân giải cực cao

Độ phân giải đo có thể đạt kích thước nano, độ chính xác đo cao, có thể đáp ứng các yêu cầu khắt khe của đo lường quy mô microna.

2. Đo không tiếp xúc

Không có tiếp xúc cơ học giữa cảm biến và đối tượng được thử nghiệm trong quá trình đo, sẽ không gây trầy xước, mài mòn trên bề mặt được thử nghiệm, cũng không gây ra lỗi đo do lực tiếp xúc, phù hợp với việc đo phôi mỏng manh, vật liệu linh hoạt hoặc vật thể chuyển động tốc độ cao.

3. Tốc độ phản hồi nhanh

Phát hiện thay đổi điện dung không bị ảnh hưởng bởi quán tính cơ học, thời gian đáp ứng của mạch xử lý tín hiệu có thể đạt đến cấp micro giây, có thể nắm bắt các thay đổi động như rung động nhỏ, dịch chuyển tốc độ cao trong thời gian thực, có thể được sử dụng để đo động và điều khiển cảnh vòng kín.

4. Ổn định tốt, chống nhiễu mạnh

Có hiệu quả có thể chống lại sự xáo trộn môi trường như trôi nhiệt độ, dao động nguồn điện; Cảm biến điện dung có cấu trúc ổn định và không có bộ phận mặc, độ ổn định cao cho việc sử dụng lâu dài và chi phí bảo trì thấp.

5. Phạm vi đo linh hoạt

Phạm vi đầy đủ của máy đo vi điện dung CxxDxx bao gồm 100 μm~2 mm, để đạt được phạm vi đo lường lớn từ cấp micron đến cấp milimet, có thể đáp ứng cả phép đo dịch chuyển nhỏ của gia công vi nano và cũng có thể phù hợp với phát hiện giải phóng mặt bằng của máy móc chính xác.

6. Phù hợp với nhiều loại vật liệu được thử nghiệm

Khi đối tượng được thử nghiệm có độ dẫn nhất định và đáp ứng các điều kiện, phép đo có thể được thực hiện, không bị ảnh hưởng bởi vật liệu, phù hợp với kim loại, chất bán dẫn, thủy tinh, gốm sứ và nhiều loại vật liệu khác để phát hiện chính xác.

B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

1) Đầu dò cảm biến

Chúng tôi cung cấp dòng sản phẩm Micrometer điện dung hoàn chỉnh để đáp ứng nhu cầu về độ chính xác, phạm vi và hiệu suất động khác nhau.

Cảm biến điện dung hình trụ

Cảm biến điện dung vuông

2) Bộ điều khiển cảm biến (xử lý tín hiệu)

Bộ điều khiển cảm biến đơn kênh, khối lượng nhỏ E75 Series

Bộ điều khiển cảm biến kênh đơn E75 Series, sử dụng thiết kế kênh đơn, cấu trúc gọn gàng và nhỏ gọn, đặc tính khối lượng nhỏ cho phép nó linh hoạt để phù hợp với nhiều kịch bản với không gian hạn chế. Nó có thể được điều chỉnh với một loạt các mô hình máy đo vi điện dung. Nó được sử dụng rộng rãi trong các tình huống như đo dịch chuyển nhỏ tại một điểm duy nhất, điều khiển vòng kín của hệ thống định vị piezo nhỏ, v.v. để cung cấp các giải pháp hiệu quả và chính xác cho các yêu cầu cảm biến độ chính xác cao của kênh đơn.

Bộ điều khiển cảm biến đa kênh, mô-đun E01 Series

Bộ điều khiển cảm biến khung E01 phù hợp với máy đo vi điện dung đa mô hình, có độ phân giải đo cấp nano, sử dụng khái niệm thiết kế mô-đun, hỗ trợ tùy chọn tự do từ 1 đến 12 kênh, có thể kết hợp linh hoạt theo nhu cầu thực tế, phù hợp với nhiều cảnh. Đồng thời cung cấp sự lựa chọn hai hình thái kết cấu bàn để bàn và bộ sung bảng, chiếu cố tính tương thích giữa tính thuận tiện sử dụng độc lập và tính tích hợp hệ thống.

Thêm chi tiết, chào mừng đến ngày mai!