Đồng hồ đo lưu lượng khí nóng

Đồng hồ đo lưu lượng khí nóng
I. Nguyên tắc làm việc:
Công nghệ chip cảm biến nhiệt μf là công việc sử dụng điện trở tích hợp quy mô lớn để đảm bảo chiều cao của cảm biến *, giải quyết lưu lượng kế khối lượng nhiệt truyền thống hiện nay không thể đảm bảo điện trở của cảm biến của nó xứng đáng *, dẫn đến cảm biến phát hiện sự khác biệt về tốc độ dẫn nhiệt theo hướng khác nhau, do đó, đồng hồ đo lưu lượng khối lượng nhiệt truyền thống trong quá trình hiệu chuẩn cảm biến và sử dụng có vấn đề với sự ổn định sản phẩm, đồng hồ đo lưu lượng khối lượng nhiệt trong ứng dụng thực tế đắt tiền, ứng dụng quy mô lớn là vấn đề khó khăn hơn. Và mức tiêu thụ điện năng của chip nhiệt khô μf nhỏ hơn đáng kể so với đồng hồ đo lưu lượng khối nhiệt thông thường, đồng nghiệp đáng tin cậy, ổn định và an toàn hơn.
Trên chip, một nguồn vi nhiệt và cảm biến nhiệt độ ở trên và dưới nguồn vi nhiệt được tích hợp trên bề mặt cầu rỗng được làm bằng quy trình MEMS *. Việc sử dụng phương pháp cầu như vậy để sản xuất có lợi cho cảm biến nhiệt và làm cho thời gian đáp ứng động được cải thiện đáng kể. Khi cảm biến dao động hoạt động, một sự khác biệt nhiệt độ nhất định được duy trì giữa nguồn vi nhiệt và nhiệt độ môi trường xung quanh, tạo thành một phân bố trường nhiệt độ cố định xung quanh chip.

Đồng hồ đo lưu lượng khí nóng
Thứ hai, tính năng sản phẩm:
1, tích hợp sản phẩm cao, tích hợp hiển thị lưu lượng tức thời, hiển thị lưu lượng tích lũy và đầu ra tín hiệu trong một, và nó có thể nhận ra điều chỉnh tự động, điều khiển van, mà không cần phải thông qua hiển thị công cụ thứ cấp.
2. Cảm biến cảm biến nhiệt lưu lượng vi mô μf áp dụng công nghệ sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn và công nghệ xử lý vật liệu mới, làm cho độ nhạy đo lưu lượng vi mô của đồng hồ đo lưu lượng tăng lên đáng kể.
3, đo lưu lượng khí nhỏ, đo lưu lượng chiều SCcm (ml/phút), để đạt được số hóa các phép đo lưu lượng nhỏ.
Công nghệ vi xử lý đặc điểm lưu lượng của một chip duy nhất làm cho phạm vi phạm vi của lưu lượng kế được cải thiện đáng kể.
4. Thiết kế tối ưu hóa cơ điện tử, công nghệ xử lý dữ liệu thông minh, làm cho đồng hồ đo lưu lượng có độ lặp lại tốt hơn, đạt được độ chính xác và đáng tin cậy của đo lường.

5, tối ưu hóa cấu trúc, tổn thất áp suất của đồng hồ đo lưu lượng MFM đạt mức nhỏ zui.
6, Công nghệ cảm biến MF được áp dụng để làm cho đồng hồ đo lưu lượng hoạt động ổn định và đáng tin cậy hơn.
7, * Zero chức năng tự học, đo lường chính xác hơn.
8, Nhiều loại khí được đánh dấu thực tế, bù đắp toàn bộ phạm vi.
9, phản ứng nhanh, lưu trữ kỹ thuật số tự động, kết hợp với máy chủ có thể đạt được quản lý tập trung mạng.
10. Thông số kỹ thuật đầy đủ, phạm vi rộng, có thể được đánh dấu riêng theo yêu cầu của người dùng.
11, độ chính xác cao, đáp ứng yêu cầu đo lường độ chính xác cao của người dùng.
Chức năng báo động lưu lượng kế của 12, * giúp giám sát đáng tin cậy hơn.
13, hoạt động, thiết lập giao diện thân thiện, dễ dàng và có thể tự thiết lập các thông số liên quan theo yêu cầu.
14, sử dụng nhiều ngành công nghiệp, làm cho các viện nghiên cứu khoa học, ngành công nghiệp dụng cụ phân tích, ngành công nghiệp bán dẫn, ngành công nghiệp quang điện, lớp phủ thủy tinh, ngành công nghiệp cùng phòng nâng cấp các sản phẩm kiểm soát lưu lượng khí nhỏ *.