Bàn thăm dò đặc biệt cho thiết bị ba đầu dòng TDH Thử nghiệm FET Thử nghiệm TFT

Có thể đàm phánCập nhật vào01/20

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Giới thiệu sản phẩm: Trong nghiên cứu khoa học thực tế, do kích thước của mẫu/wafer (Wafer) ngày càng lớn hơn, bàn thăm dò để thử nghiệm khá đắt tiền, chúng tôi theo ứng dụng thị trường của khách hàng nghiên cứu độc lập cấu trúc này nhỏ, chức năng thiết thực, chi phí thấp hơn TDH loạt bàn thăm dò, đáp ứng các chức năng thử nghiệm cơ bản trên cơ sở, loại bỏ các thành phần không cần thiết, hệ thống bàn thăm dò này bao gồm: phần hình ảnh quang học, đế quang học, ghế thăm dò, hệ thống điều chỉnh bốn chiều, hệ thống hấp phụ chân không;

Chi tiết sản phẩm

Thông tin sản phẩm:
Trong nghiên cứu khoa học thực tế, do kích thước của mẫu/wafer (Wafer) ngày càng lớn, đầu dò được sử dụng để kiểm tra khá đắt tiền, cấu trúc nhỏ, chức năng thiết thực và chi phí thấp hơn của đầu dò loạt TDH theo ứng dụng thị trường của khách hàng, đáp ứng các chức năng kiểm tra cơ bản trên cơ sở, loại bỏ các thành phần không cần thiết, hệ thống đầu dò này bao gồm: phần hình ảnh quang học, đế quang học, ghế thăm dò, hệ thống điều chỉnh bốn chiều, hệ thống hút chân không;

TDHLoạt bàn thăm dò bao gồm ba ghế thăm dò chính xác độc lập, có thể phối hợp với bảng nguồn kỹ thuật số và như vậy để hoàn thành thử nghiệm thiết bị ba đầu, vật liệu có thể được kiểm tra là diode, bóng bán dẫn, bóng hiệu ứng trường, thiết bị cấp wafer, v.v., có thể hoàn thành thử nghiệm I/V, c/v, điện trở, điện dung và các thông số khác.

Tính năng sản phẩm:

★ Cấu trúc nhỏ gọn, chức năng thiết thực, chất lượng nhẹ và di chuyển thuận tiện

★ Tối đa có thể được sử dụng để kiểm tra mẫu trong vòng 12 inch

★ Tương thích với kính hiển vi điện tử độ phóng đại cao, có thể xoay 360 ° và điều chỉnh nâng

★ Độ chính xác rò rỉ hiện tại: 10pA/50fa (bên trong hộp được che chắn)

★ Cấu trúc ổ trục vít/đuôi én chính xác, chuyển động tuyến tính, dịch chuyển chính xác, không có thiết kế chênh lệch trở lại

★ Ứng dụng cho các trường đại học/viện nghiên cứu/phòng thí nghiệm của công ty

★ Sử dụng điện cực/PAD trên 1 micron

★ Thiết kế mô-đun, có thể thêm và loại bỏ các mô-đun tương ứng theo ứng dụng

Ứng dụng sản phẩm:

◆ Kiểm tra cường độ/bước sóng của LD/LED/PD (tích hợp thiết bị quang điện của chúng tôi)

◆ Kiểm tra phân tích đặc tính như IV/CV cho vật liệu/thiết bị

◆ Kiểm tra phân tích wafer

Thông số kỹ thuật Chọn loại:

Thông số kỹ thuật/Thông số
Mô hình		TDH-4	TDH-6		TDH-8		TDH-12
Kích thước tổng thể (LWH)		450×300×355mm	600×450×355mm		600×500×355mm		600×600×355mm
Nhu cầu điện		220VC,50-60HZ
Bảng mẫu	Kích thước	4 inch	6 inch		8 inch		12 inch
	Hành trình	Toàn bộ XYZR 4D Displacement, XY Stroke 100mm, Z-Axis Stroke 13mm, R-Axis 360 ° Rotatable Khóa
	Độ chính xác di chuyển	3μm
	Chức năng kiểm tra điện cực trở lại	Có thể dẫn điện cực	Có thể dẫn điện cực		Có thể dẫn điện cực		Có thể dẫn điện cực
	Mô-đun tùy chỉnh	Du lịch dịch chuyển tùy chỉnh và độ chính xác có sẵn
Ghế điều chỉnh đầu dò	Hành trình XYZ	13mm-13mm-13mm
	Độ chính xác cơ học	Tiêu chuẩn 3μm (có thể nâng cấp/1μm)
	Độ chính xác rò rỉ	100fA (Cấu hình hộp che chắn)
	Cách cài đặt	Điều chỉnh từ hấp phụ/hút chân không hấp phụ
	Hình thức giao diện	Đồng trục (Triax)
Hình ảnh quang học	Độ phóng đại	7-200x (tối đa có thể nâng cấp lên 720 lần)
	Điểm ảnh CCD	2000W
	Khoảng cách trung tâm	140mm， Phạm vi nâng 270mm, chiều cao tổng thể 350mm
	Hiển thị	Màn hình 12 inch, phóng to mẫu 3-17mm lên toàn bộ màn hình (kính hiển vi kích thước lớn có thể nâng cấp)
Phụ kiện tùy chọn		Chuck nóng		Chuck nhiệt độ cao và thấp		Chuck mạ vàng
		Hỗ trợ cách ly rung		Điểm Ball thử nghiệm tùy chọn		Hộp bảo vệ
		Phụ kiện kiểm tra RF		Hỗ trợ nguồn sáng nhập khẩu		Bước sóng đơn sắc điều chỉnh nguồn sáng sợi quang (hiện tại đo sáng)
		Điều chỉnh kính hiển vi Hướng dẫn sử dụng/Thiết bị điều chỉnh điện		Kính hiển vi cắt laser		Phụ kiện đầu nối
Thiết bị quang phổ có thể xây dựng bảng thăm dò theo ứng dụng của khách hàng để đạt được tốt hơncủaHiệu quả sử dụng và tỷ lệ giá tình dục

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị