Ống quan sát ba mắt bản lề trường rộng giống như ống quan sát ba mắt bản lề, phương vị hình ảnh và hướng thực tế của vật thể giống nhau, hướng di chuyển của vật thể giống như hướng di chuyển của mặt hình ảnh, thuận tiện cho việc quan sát và vận hành.

Thiết kế nền tảng di động lớn được áp dụngThiết kế nền tảng phẳng 6 inch, đột quỵ 158 × 158mm, có thể được sử dụng để phát hiện wafer hoặc FPD có kích thước tương ứng, cũng có thể được sử dụng để phát hiện mảng các mẫu kích thước nhỏ. Bộ chuyển đổi mục tiêu có độ chính xác cao thông qua thiết kế vòng bi chính xác, cảm giác quay nhẹ và thoải mái, độ chính xác định vị lặp lại cao. Độ đồng tâm của mục tiêu sau khi chuyển đổi cũng được kiểm soát tốt hơn.

Thiết kế cấu trúc khung an toàn và ổn định
Thân kính hiển vi cấp phát hiện công nghiệp, trọng tâm thấp, độ cứng cao và giá đỡ kim loại ổn định cao, đảm bảo khả năng chống động đất của hệ thống và ổn định hình ảnh.
Cơ chế lấy nét đồng trục được tinh chỉnh thô ở vị trí thấp trước, được xây dựng trongMáy biến áp điện áp rộng 100-240V, có thể thích ứng với điện áp lưới điện ở các khu vực khác nhau. Bên trong cơ sở được thiết kế với hệ thống tản nhiệt tuần hoàn gió, sử dụng lâu dài cũng không làm cho khung quá nóng.
