Đầu mục tiêu Cojing Five Plasma RF Magnetron Sputter

Trang chủNăm đầu mục tiêu Plasma RF Magnetron Sputter

Số mô hình:VTC-5RF

Tổng quan về sản phẩm:

VTC-5RF là một máy phún xạ magnetron tần số vô tuyến plasma với 5 mục tiêu nhắm vào việc nghiên cứu màng MGI thông lượng cao (Project Material Genome). Đặc biệt thích hợp để khám phá các vật liệu điện phân trạng thái rắn, được kết hợp theo 16 tỷ lệ khác nhau thông qua 5 yếu tố.

Các tính năng chính:

• Nhiều mục tiêu phún xạ và nguồn điện có sẵn, kết hợp tự do, vui lòng gọi bộ phận bán hàng của công ty chúng tôi cụ thể.
• Tùy thuộc vào nguồn điện được sử dụng (DC hoặc RF), vật liệu kim loại hoặc phi kim loại có thể được lắng đọng.
• Một công tắc quay có thể kích hoạt đầu phún xạ theo thứ tự, có thể tự động chuyển đổi trong môi trường chân không hoặc plasma mà không ảnh hưởng đến độ chân không.
• Năm mục tiêu vật liệu khác nhau có thể được cài đặt, mỗi mục tiêu có thể được thiết lập riêng biệt với các thông số như công suất thời gian phún xạ và các thông số khác, được sử dụng để phát triển màng với các thành phần khác nhau.
• Nhiều nguồn cung cấp RF có thể được lựa chọn, bắn tung tóe nhiều mục tiêu cùng một lúc.
• Phần mềm điều khiển thiết bị tùy chọn, điều khiển tất cả các thông số của phún xạ bằng máy tính.

phún xạ buồng：

• Buồng chân không được làm bằng thép không gỉ 304
• Kích thước bên trong khoang: 470mm L × 445mm D × 522mm H (105 L)
• Cửa khoang bản lề với đường kính Φ380mm với cửa sổ kính Φ150mm gắn trên

Đầu phún xạ&Bảng mẫu：

• 5 đầu phún xạ magnetron 1 inch với lớp sandwich làm mát bằng nước
• Các vách ngăn điện được gắn bên trong khoang phún xạ
• Khoảng cách phún xạ: Khoảng cách phún xạ có thể điều chỉnh
• Góc phún xạ: Góc phún xạ có thể điều chỉnh
• Khi thử nghiệm, cần phải liên kết miếng đệm đồng của mục tiêu và mục tiêu với bột giấy bạc dẫn điện, (bột giấy bạc dẫn điện có thể được mua trong công ty chúng tôi)
• Cáp kết nối RF có thể được đặt riêng để dự phòng
• Thiết bị cần một máy làm mát nước để làm mát đầu mục tiêu

Bảng mẫu：

• Bàn mẫu có đường kính 150mm, được bao phủ bởi một bàn xoay với lỗ 10mm, mỗi lần lộ ra một mẫu nhận được phún xạ thành màng.
• Kích thước bảng mẫu: Φ150mm, có thể xoay bằng điều khiển chương trình, có thể tạo ra 16 thành phần khác nhau của bộ phim
• Bàn mẫu có thể được làm nóng,ZuiNhiệt độ cao có thể đạt 600 ℃ (tùy thuộc vào cấu hình khác nhau có thể thay đổi, xin vui lòng tư vấn bộ phận bán hàng cụ thể)

Hệ thống hút chân không：

• Cài đặt KF40 Vacuum Interface
• Độ chân không: 4.0e-5Torre (bơm phân tử) (giá trị tham khảo, vui lòng nhấp vào)
• Có thể chọn mua tất cả các loại máy bơm chân không trong công ty chúng tôi

Không khí：

• Thiết bị được trang bị 1/4 inch không khí không khí dễ dàng kết nối xi lanh khí
• Bảng điều khiển phía trước của thiết bị được trang bị núm điều chỉnh luồng không khí, thuận tiện cho việc điều chỉnh luồng không khí

Mục tiêu：

• Kích thước mục tiêu yêu cầu: đường kính 25 mm,ZuiĐộ dày lớn 3mm
• Có thể lựa chọn nhiều mục tiêu trong công ty

Trang chủNăm đầu mục tiêu Plasma RF Magnetron Sputter

Số mô hình:VTC-5RF

Máy đo độ dày phim(Tùy chọn):Máy đo độ dày màng có thể được chọn trong công ty để lắp đặt trên máy phún xạ

Khối lượng tịnh:60Kg (không bao gồm bơm)

Chứng nhận chất lượng:Chứng nhận CE

Mẹo sử dụng:

• Thiết bị này là thiết bị DIY, các thông số thay đổi lớn trước khi mua hãy chắc chắn để liên lạc cẩn thận qua điện thoại
• Để có được chất lượng phim tốt hơn, phải đi qua khí có độ tinh khiết cao (Khuyến nghị>5N)
• Đảm bảo đầu phun, mục tiêu, tấm nền và bảng mẫu sạch sẽ trước khi phun sơn
• Để đạt được sự kết hợp tốt của bộ phim với chất nền, làm sạch bề mặt chất nền trước khi phún xạ
• Làm sạch bằng siêu âm (các thông số chi tiết nhấp vào hình ảnh dưới đây): (1) Siêu âm acetone (2) Siêu âm isopropanol - Loại bỏ dầu mỡ (3) Làm khô nitơ thổi (4) Lò chân không loại bỏ độ ẩm.
• Làm sạch plasma (các thông số chi tiết nhấp vào hình ảnh dưới đây): bề mặt có thể được làm nhám, có thể kích hoạt các liên kết hóa học bề mặt, có thể loại bỏ các chất gây ô nhiễm bổ sung.
• Tạo một lớp đệm mỏng (khoảng 5 nanomet): chẳng hạn như Gr, Ti, Mo, Ta, có thể được áp dụng để cải thiện độ bám dính của kim loại và hợp kim.

Cảnh báo：

• Lưu ý: Sản phẩm được lắp đặt bên trong với các thành phần điện áp cao, cấm tháo dỡ và lắp ráp riêng, mang điện để di chuyển cơ thể.
• Van giảm áp phải được lắp đặt trên xi lanh khí (không bao gồm thiết bị tiêu chuẩn), đảm bảo áp suất đầu ra của khí được giới hạn ở 0,02 MpaSau đây, để sử dụng an toàn.
• Đầu phun được kết nối với điện áp cao. Để an toàn, người vận hành phải lắp ráp và thay thế mục tiêu trước khi tắt thiết bị.