-
Thông tin E-mail
sales1@szfangru.com
-
Điện thoại
15219492755
-
Địa chỉ
Tầng 4, Tòa nhà thứ hai, Khu công nghệ Xinghuang, Khu công nghiệp số 7, Cộng đồng Huishukou, Thị trấn Gongming, Quận Guangming, Thâm Quyến
Danh mục sản phẩm
Thâm Quyến Fangrui Công nghệ Công ty TNHH
Máy làm sạch plasma loại hộp
Có thể đàm phánCập nhật vào10/25
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Ứng dụng trong quá trình xám hóa thạch cao, loại bỏ photoplastic LDI, loại bỏ polymer, loại bỏ photoplastic sau khi tiêm ion liều cao, khắc silic nitride và silicon carbide, khắc TaSi, ứng dụng MEMS (Hệ thống cơ khí vi điện tử), quá trình đóng gói tiên tiến PR, PI, BCB, PBO, loại bỏ photoplastic trong quá trình lọc tần số vô tuyến BAW/SAW, v.v.
Chi tiết sản phẩm
FARI Box Plasma Cleaner sử dụng hệ thống khử keo và khắc khô tiên tiến, có thể hỗ trợ sản xuất và xử lý hàng loạt các sản phẩm wafer, chi phí bảo trì thiết bị thấp và hiệu quả cao, giảm thiểu thiệt hại do plasma gây ra, để ổn định hóa chất tẩy tế bào chết, cũng có thể cải thiện quá trình loại bỏ gel tiêm ion liều cao bằng cách sử dụng các hóa chất khác nhau, và có thể được sử dụng trong silicon nitride, oxit, lớp kim loại và nhiều quá trình khác.
dự án
quy cách
Kích thước máy chính
2120W x 1690D x 2170H mm
Kích thước buồng chân không
1140W x 1560D x 960H mm
Cấu hình bảng điện cực
16 tấm điện cực dọc với 15 vị trí xử lý
Khu vực hiệu quả
1120W x 640H mm (44 x 25 inch)
Nguồn điện Plasma
10 kW, 40 kHz
Áp suất không khí làm việc
0.15~0.3Torr， Kiểm soát độ chính xác 0.1mTorre
Yêu cầu không gian
5060 x 4000 x 2400 (H) mm
Sử dụng quy trình
1. Plasma khô khử keo xỉ cho lỗ mù và thông qua lỗ PCB;
2. Khắc của phim khô, mực hàn kháng;
3. bề mặt tấm mềm, bề mặt đồng sạch và kích hoạt;
4. PTFE、 Kích hoạt bề mặt và bên trong lỗ của chất nền gốm.
Phù hợp với kích thước PCB
Tối đa: 25 * 44inch
Tối thiểu: 10 * 10inch
Phạm vi độ dày tấm phù hợp
1. 0,036~0,5mm: Cần có giá đỡ hỗ trợ đặc biệt;
2. 0,5~5mm có thể trực tiếp lên giá treo.
Xử lý khẩu độ tối thiểu
Thông qua lỗ 150um, lỗ mù 60um
Tỷ lệ loại bỏ keo
Tốc độ khắc: 0,09mg/(cm2 * phút)
 |
 |
 |
 |
 |
|
 |
 |
|
Nhiều lớp linh hoạt tấm loại bỏ cặn: áp dụng cho các loại keo khác nhau như keo epoxy, keo acrylic. So với thuốc hóa học thì ổn định hơn, triệt để hơn, tỷ lệ tốt có thể nâng cao trên 20%. |
Biểu đồ hiệu ứng xử lý bảng tần số cao:
|
 |
 |
|
Tỷ lệ khung hình cao FR-4 Tấm cứng Micropore Loại bỏ cặn, Tấm cứng TG Loại bỏ cặn:bởi vìhóa học Thuốc tăng lựcNhân tố dẫn đến việc loại bỏ cặn bã của nước dùng thuốc, thuốc.khôngPhương pháp thẩm thấu vào bên trong lỗ nhỏ, Làm cho bã keo không triệt để,Plasma không bịGiới hạn kích thước khẩu độ, lợi thế khẩu độ nhỏ hơn vượt quá Nổi bật lên. |
Mềm và cứng kết hợp với tấm khử keo: loại bỏ cặn keo triệt để, tránh được sự tấn công của thuốc kali permanganat đối với PI mềm,Lỗ tường lõm đồng đều, cải thiện độ tin cậy và tỷ lệ tốt của mạ lỗ. |
Fangrui Technology đã thông qua chứng nhận CE và ISO9001. Trong những năm qua, chúng tôi tiếp tục nghiên cứu và phát triển để có được một số "Giấy chứng nhận bằng sáng chế mô hình tiện ích". Chúng tôi sẽ cố gắng hết sức để đạt được bước đột phá.
