Sự phát triển của máy phát áp suất đại khái trải qua bốn giai đoạn:
(1) Máy phát áp suất ban đầu sử dụng nguyên tắc làm việc loại dịch chuyển lớn, chẳng hạn như máy đo chênh lệch thủy ngân nổi và máy phát áp suất chênh lệch hộp phim, chúng có độ chính xác thấp và cồng kềnh.
(2) Những năm 1950 đã có máy phát áp suất chênh lệch cân bằng lực chính xác hơn một chút, nhưng lực phản hồi nhỏ, cấu trúc phức tạp, độ tin cậy, ổn định và chống rung kém.
(3) Vào giữa những năm 1970, với sự xuất hiện của các quy trình mới, vật liệu mới, công nghệ mới, đặc biệt là sự phát triển nhanh chóng của công nghệ điện tử, máy phát loại dịch chuyển với kích thước nhỏ và cấu trúc đơn giản đã xuất hiện.
(4) Sự phát triển nhanh chóng của khoa học và công nghệ trong những năm 1990, độ chính xác đo của máy phát được cải thiện và dần dần phát triển thông minh, truyền tín hiệu kỹ thuật số thuận lợi hơn cho việc thu thập dữ liệu, và các loại khác nhau của máy phát điện trở silicon khuếch tán, máy phát điện dung, máy phát điện cảm vi sai và máy phát điện dung gốm, v.v.