Ô tô hiện đại đang phát triển từ một phương tiện giao thông đơn giản theo hướng đáp ứng nhu cầu của con người và an toàn, thoải mái, thuận tiện và không ô nhiễm. Chìa khóa để đạt được những mục tiêu này là điện tử hóa và thông minh hóa xe hơi, điều kiện tiên quyết là truy cập kịp thời các thông tin khác nhau, điều này chắc chắn đòi hỏi phải sử dụng nhiều cảm biến khác nhau trong xe. Các cảm biến truyền thống có xu hướng lớn về khối lượng và trọng lượng và chi phí, và chúng bị hạn chế đáng kể trong việc sử dụng xe hơi.

Trong những năm gần đây, công nghệ microelectronmechnicalsystem (MESM) phát triển từ công nghệ mạch tích hợp bán dẫn (IC) ngày càng hoàn thiện. Cảm biến vi mô là thiết bị cơ điện vi mô thành công và có tính thực tiễn hiện nay, chủ yếu bao gồm cảm biến áp suất vi mô và cảm biến gia tốc vi mô sử dụng biến dạng cơ học của màng vi mô để sản xuất tín hiệu viễn thông; Ngoài ra, có cảm biến nhiệt độ nhỏ, khô từ trường, cảm biến khí, v.v., hầu hết các cảm biến nhỏ này có diện tích dưới 1mm2. Với sự phát triển hơn nữa của công nghệ vi điện tử, đặc biệt là công nghệ nano, công nghệ cảm biến cũng sẽ phát triển từ cảm biến thu nhỏ đến cảm biến nano. Kích thước nhỏ, các cảm biến thu nhỏ này có thể đạt được nhiều chức năng hoàn toàn mới, tạo điều kiện cho việc sản xuất khối lượng lớn và độ chính xác cao, chi phí thấp của một mảnh và dễ dàng tạo thành các mảng lớn và đa chức năng, những tính năng này làm cho chúng lý tưởng cho các ứng dụng liên quan đến ô tô.

　　1, Phân loại cảm biến cho ô tô

Cảm biến cho ô tô là một thuật ngữ chung cho các cảm biến khác nhau được sử dụng trong màn hình ô tô và hệ thống điều khiển điện. Nó liên quan đến rất nhiều cảm biến đại lượng vật lý và cảm biến đại lượng hóa học. Những cảm biến này hoặc là giúp tài xế hiểu được trạng thái các bộ phận của xe; Hoặc là dùng để kiểm soát trạng thái các bộ phận của xe. Vai trò trên xe có thể được chia thành điều khiển động cơ, điều khiển khung gầm và cung cấp cho người lái các thông tin khác nhau với các cảm biến, vật liệu tạo nên các cảm biến này có gốm sứ tinh tế, vật liệu bán dẫn, sợi dẫn quang và màng polymer cao; Theo đặc tính đầu ra để phân loại cảm biến tương tự và cảm biến kỹ thuật số; Chia theo nguyên lý cấu thành, có cấu trúc, tính dẻo dai và hợp chất. Để thuận tiện, bây giờ được phân loại theo đối tượng điều khiển của cảm biến ô tô, như trong Bảng 1.

　　2, Ứng dụng cảm biến mini trong xe hơi

Có rất nhiều loại cảm biến được sử dụng trên xe hơi và các ứng dụng rất rộng. Các ứng dụng của cảm biến trong điều khiển động cơ ô tô, hệ thống an toàn, giám sát xe và tự chẩn đoán được mô tả dưới đây.

2.1 Cảm biến để điều khiển động cơ ô tô

Điều khiển điện tử của động cơ luôn được coi là một trong những lĩnh vực ứng dụng chính của công nghệ MEMS trong ô tô. Cảm biến cho hệ thống điều khiển động cơ là cốt lõi của toàn bộ cảm biến ô tô, có rất nhiều loại, bao gồm cảm biến nhiệt độ, cảm biến áp suất, cảm biến vị trí và tốc độ quay, cảm biến lưu lượng, cảm biến nồng độ khí và cảm biến nổ, v.v... Những cảm biến này cung cấp thông tin về tình trạng làm việc của động cơ cho bộ điều khiển điện tử của động cơ để điều khiển điều kiện làm việc của động cơ để cải thiện động cơ, giảm tiêu thụ nhiên liệu, giảm khí thải và phát hiện lỗi.

(1) Cảm biến thay thế nhiệt độ

Cảm biến nhiệt độ cho ô tô chủ yếu được sử dụng để phát hiện nhiệt độ động cơ, nhiệt độ khí hít vào, nhiệt độ nước làm mát, nhiệt độ nhiên liệu cũng như nhiệt độ xúc tác, v.v. Cảm biến nhiệt độ có 3 loại chính là loại thermistor, loại cuộn dây và loại thermistor. Ba loại cảm biến này đều có đặc điểm riêng, ứng dụng của chúng cũng có chút đặc trưng. Cảm biến nhiệt độ thermistor có độ nhạy cao và đặc tính đáp ứng tốt hơn, nhưng sự khác biệt tuyến tính và nhiệt độ thích ứng thấp hơn. Trong số đó, phạm vi đo nhiệt độ của loại phổ quát là -50~30 ℃, độ chính xác là 1,5%, thời gian đáp ứng là 10ms; loại nhiệt độ cao là 600~1000cC, độ chính xác là 5%, thời gian đáp ứng là 10ms; độ chính xác cao của cảm biến nhiệt độ kháng dây, nhưng đặc tính phản ứng kém; Cảm biến nhiệt độ kháng cặp nhiệt có độ chính xác cao và phạm vi nhiệt độ đo rộng, nhưng cần được sử dụng cùng với bộ khuếch đại và xử lý đầu lạnh. Các sản phẩm khác đã được sử dụng thực tế là cảm biến nhiệt độ ferriton (phạm vi đo nhiệt độ -40~120 ℃, độ chính xác 2,0%), cảm biến nhiệt độ không khí bằng kim loại hoặc màng bán dẫn (phạm vi đo nhiệt độ -40~150 ℃, độ chính xác 2,0%, 5%, thời gian đáp ứng khoảng 20ms), v.v.

(2) Cảm biến áp suất

Cảm biến áp suất là một cảm biến được sử dụng nhiều trong ô tô, chủ yếu được sử dụng để phát hiện áp suất khí lưu trữ túi khí, áp suất chất lỏng của hệ thống truyền động, áp suất nhiên liệu tiêm, áp suất dầu động cơ, áp suất đường ống nạp, áp suất chất lỏng của hệ thống lọc không khí, v.v. Ngay lúc này. Các công ty lớn dành riêng cho phát triển và sản xuất cảm biến áp suất cho ô tô là Motorola, Deco Electronics Instruments, LucasNovasensor，HiStat，NipponDenzo， Siemens, Texas Instruments và nhiều hơn nữa.

Các cảm biến áp suất ô tô thường được sử dụng là loại điện dung, loại điện trở, loại biến áp vi sai, loại sóng bề mặt âm thanh. Cảm biến áp suất điện dung chủ yếu được sử dụng để phát hiện áp suất âm, thủy lực, áp suất không khí. Phạm vi đo là 20~100kPa. Nó được đặc trưng bởi năng lượng đầu vào cao, đặc tính phản ứng động tốt và khả năng thích ứng môi trường tốt; Hiệu suất của cảm biến áp suất điện trở bị ảnh hưởng nhiều bởi nhiệt độ, cần phải thiết lập mạch bù nhiệt độ khác, nhưng thích ứng với sản xuất hàng loạt; Cảm biến áp suất biến áp vi sai có đầu ra lớn, dễ dàng đầu ra kỹ thuật số, nhưng khả năng chống nhiễu kém; Cảm biến áp suất loại sóng bề mặt âm thanh có kích thước nhỏ, chất lượng nhẹ, tiêu thụ điện năng thấp, độ tin cậy cao, độ nhạy cao, độ phân giải cao và đầu ra kỹ thuật số. Nó được sử dụng để phát hiện áp suất van hút khí ô tô và có thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ cao.

Cảm biến áp suất lốp thông minh KPS00 được phát triển bởi công ty Infineon của Đức đã tích hợp mô-đun cảm biến áp suất và nhiệt độ bên trong, nó không cần thêm cảm biến gia tốc trong mô-đun cảm biến, có thể tự động khởi động khi khởi động xe vào tự kiểm tra, có thể đo áp suất, nhiệt độ và điện áp, v.v. Tất cả các chức năng được tích hợp trên chất bán dẫn oxit kim loại bổ sung lưỡng cực (BiCMOS) 0,8μm bằng cách sử dụng công nghệ gia công vi mô bề mặt. Mã nhận dạng chip 32 bit được lưu trữ trong bộ nhớ chỉ đọc có thể lập trình bằng điện trong mỗi mô-đun cảm biến. Mã nhận dạng chip có thể được đọc bằng giao diện nối tiếp đồng bộ và có thể được sử dụng để xác định vị trí của các cảm biến áp suất lốp riêng lẻ. Khi nhận dữ liệu, đầu tiên, phải kiểm tra mã nhận dạng chip, nếu phát hiện mã nhận dạng chip không phù hợp, thì từ bỏ khung dữ liệu nhận được.

(3) Cảm biến dòng chảy

Cảm biến dòng chảy chủ yếu được sử dụng để đo lưu lượng không khí và lưu lượng nhiên liệu của động cơ. Lượng khí nạp là một trong những thông số cơ bản để tính toán lượng phun nhiên liệu. Chức năng của cảm biến lưu lượng không khí: cảm nhận kích thước của lưu lượng không khí và chuyển đổi thành tín hiệu điện để truyền đến bộ điều khiển điện tử của động cơ. Đo lưu lượng không khí được sử dụng trong hệ thống điều khiển động cơ để xác định điều kiện cháy, kiểm soát tỷ lệ không khí-nhiên liệu, khởi động, đánh lửa, v.v. Cảm biến lưu lượng không khí có sẵn trong 4 loại tấm cánh quay, loại cuộn Carmen, loại, loại màng nhiệt, v.v. Các chỉ số kỹ thuật chính của cảm biến lưu lượng không khí: phạm vi hoạt động là 0,11~103m3/phút, nhiệt độ hoạt động là -40~120 ℃, độ chính xác ≤1%. Cảm biến lưu lượng nhiên liệu được sử dụng để phát hiện lưu lượng nhiên liệu, chủ yếu là bánh xe nước và loại bóng tuần hoàn, phạm vi động của nó là 0~60kg/h, nhiệt độ hoạt động là -40~12 ℃, độ chính xác ± 1%, thời gian đáp ứng # lt; 10ms.

Công ty Microswitch thuộc sở hữu của Honeywell đã tạo ra chip cảm biến lưu lượng không khí microbridge bằng công nghệ gia công vi mô nhiệt, sử dụng công nghệ gia công vi mô để tạo ra một khoang trên một tấm silicon với điện trở bạch kim treo trên đó. Khi không khí chảy qua thiết bị, một sự truyền nhiệt xảy ra từ dưới lên trên hướng dòng chảy của không khí, do đó, điện trở bên dưới được làm mát và điện trở bên trên được làm nóng, lưu lượng không khí có thể được đo bằng sự thay đổi điện trở của cầu.

(4) Vị trí và cảm biến RPM

Vị trí trục khuỷu và cảm biến tốc độ quay chủ yếu được sử dụng để phát hiện góc quay trục khuỷu của động cơ, tốc độ quay của động cơ, tốc độ mở của ga, tốc độ xe, v.v., để cung cấp tín hiệu điểm tham chiếu cho thời điểm đánh lửa và thời điểm phun nhiên liệu, đồng thời, cung cấp tín hiệu tốc độ quay của động cơ. Hiện nay, xe sử dụng vị trí và cảm biến tốc độ quay chủ yếu là loại máy phát điện xoay chiều, loại điện trở từ, loại hiệu ứng Hall, loại chuyển đổi chip, loại quang học, loại bóng bán dẫn từ tính, v.v., phạm vi đo của nó là 0 °~360 °, độ chính xác tốt hơn ± 0,5 °, góc uốn đo ± 0,1 °.

Cảm biến tốc độ xe rất đa dạng, có bánh xe nhạy cảm xoay, cũng có trục truyền động nhạy cảm xoay, còn có trục truyền động nhạy cảm xoay từ trục truyền động. Khi tốc độ xe cao hơn 100km/h, lỗi phương pháp đo thông thường là lớn, cần sử dụng cảm biến tốc độ quang điện không tiếp xúc, phạm vi tốc độ là 0,5-250km/h, độ chính xác lặp lại là 0,1%, lỗi đo khoảng cách tốt hơn 0,3%.

(5) Cảm biến nồng độ khí

Cảm biến nồng độ khí chủ yếu được sử dụng để phát hiện khí thải và khí thải trong thân xe. Trong số đó, chính là cảm biến oxy, phát hiện hàm lượng oxy trong khí thải ô tô, xác định tỷ lệ không khí-nhiên liệu theo nồng độ oxy trong khí thải, gửi tín hiệu phản hồi đến thiết bị điều khiển vi tính để kiểm soát tỷ lệ không khí-nhiên liệu hội tụ với giá trị lý thuyết. Thường được sử dụng cảm biến germanium oxide (nhiệt độ sử dụng là -40~900 ℃, độ chính xác là 1%), cảm biến khí loại pin khác biệt tập trung crôm oxide (nhiệt độ sử dụng là 300~800 ℃), cảm biến khí crom oxide điện phân rắn (nhiệt độ sử dụng là 0~400 ℃. độ chính xác là 0,5%), ngoài ra, cảm biến oxy titan dioxide và cảm biến oxy zirconia. So với cảm biến germanium oxide, cảm biến oxy titanium dioxide có cấu trúc đơn giản, nhẹ, rẻ tiền và khả năng chống ô nhiễm chì mạnh: cảm biến vi ion zirconium dioxide bao gồm ion zirconium oxide ổn định canxi oxit, điện cực làm việc màng dày platin xốp, điện cực tham số màng dày palladium/palladium oxide, tầng không thấm nước, tiếp xúc điện cực và lớp bảo vệ. Trong đó, oxit canxi ổn định zirconia được tích lũy bằng phương pháp phún xạ phản ứng. Cả điện cực làm việc và điện cực tham chiếu đều được sản xuất bởi quá trình màng dày. Một sự thay đổi đột ngột xảy ra ở điện áp đầu ra gần điểm A/F lý tưởng, khi tỷ lệ nhiên liệu trên không cao hơn và nồng độ oxy trong khí thải tăng lên, điện áp đầu ra của cảm biến oxy giảm; Khi tỷ lệ nhiên liệu trên không trở nên thấp và nồng độ oxy trong khí thải giảm, điện áp đầu ra của cảm biến oxy tăng lên. Bộ điều khiển điện tử nhận ra tín hiệu đột biến này, điều chỉnh lượng phun, do đó điều chỉnh tỷ lệ không khí-nhiên liệu cho phù hợp, làm cho nó thay đổi gần tỷ lệ không khí-nhiên liệu lý tưởng.

(6) Cảm biến nổ

Cảm biến nổ được sử dụng để phát hiện rung động của động cơ, điều khiển và tránh nổ động cơ bằng cách điều chỉnh góc đánh lửa trước. Để tối đa hóa sức mạnh của động cơ mà không gây cháy, góc đánh lửa trước nên được kiểm soát ở giá trị tới hạn được tạo ra bởi vụ nổ, và khi động cơ tạo ra vụ nổ, cảm biến sẽ chuyển đổi rung động do vụ nổ thành tín hiệu điện và truyền đến bộ điều khiển điện tử. Phát hiện nổ có 3 phương pháp phát hiện áp suất xi lanh, rung động cơ thể động cơ và tiếng ồn cháy. Cảm biến nổ có sẵn trong kính thiên văn từ tính và áp điện. Nhiệt độ sử dụng của cảm biến nổ kính thiên văn từ tính là -40~125 ℃, dải tần số là 5~10kHz; Cảm biến nổ áp điện ở tần số trung tâm 5,417kHz, độ nhạy của nó có thể đạt 200mV/gn và biên độ là 0,1~l0gn. Có một tuyến tính tốt trong phạm vi.

(7) Cảm biến vị trí ga

Cảm biến vị trí ga được lắp đặt trên ga, chức năng của nó là chuyển đổi tín hiệu mở của ga động cơ thành tín hiệu điện và truyền đến bảng điều khiển điện tử để cảm nhận kích thước tải của động cơ và điều kiện làm việc tăng và giảm tốc. Thường được sử dụng là cảm biến vị trí van tiết lưu điện trở biến đổi. Cảm biến này là một cảm biến bướm ga điển hình, chủ yếu bao gồm hai phần, một bộ chuyển đổi tuyến tính và một tiếp điểm nhàn rỗi. Bộ chuyển đổi điện trở được làm bằng điện trở màng gốm, tiếp xúc trượt được điều khiển bằng lò xo đặt lại, quay đồng trục với van tiết lưu. Khi làm việc, các tiếp điểm của bộ chuyển đổi tuyến tính trượt trên điện trở, và theo giá trị điện trở thay đổi, tín hiệu điện áp đầu ra tuyến tính tỷ lệ thuận với độ mở của ga có thể được đo lường. Theo giá trị điện áp đầu ra, bộ điều khiển điện tử có thể biết được tốc độ mở và tốc độ thay đổi mở của van tiết lưu, do đó đánh giá điều kiện hoạt động của động cơ và cải thiện độ chính xác và hiệu quả điều khiển. Tiếp điểm trượt tín hiệu nhàn rỗi là tiếp điểm mở thường xuyên, chỉ đóng khi ga đóng hoàn toàn, tạo ra tín hiệu tiếp điểm nhàn rỗi, chủ yếu được sử dụng để kiểm soát nhàn rỗi, kiểm soát dầu bị hỏng và điều chỉnh góc trước đánh lửa.

2.2 Hệ thống cảm biến an ninh

An toàn là yếu tố hàng đầu trong việc xem xét ô tô, cũng có rất nhiều cảm biến được sử dụng trong lĩnh vực an toàn, chẳng hạn như gia tốc kế nhỏ cho túi khí ô tô, con quay hồi chuyển vi cơ bề mặt tốc độ đo góc, v.v.

(1) Cảm biến gia tốc vi mô

Túi khí hiện đang và sẽ là một ứng dụng chính cho sự ra đời của MEMSj. Phạm vi của gia tốc kế silicon được sử dụng thường là 50gn. Các cảm biến gia tốc silicon trước đó như cảm biến gia tốc silicon được tạo ra bởi công nghệ vi mô cơ thể được sử dụng bởi Motorola.

Henrik và cộng sự của Thụy Điển đã báo cáo về một gia tốc kế ba trục silicon mới với các thông số cấu trúc bên ngoài là 6mm × 4mm × l.4mm, nó có 4 khối khối nhạy cảm, 4 điện cực đọc tín hiệu độc lập và 4 điện cực tham chiếu. Nó khéo léo sử dụng các tính năng cấu trúc của dầm nhạy cảm có độ cứng rất nhỏ theo hướng độ dày của nó và có khả năng gia tốc nhạy cảm, và độ cứng tương đối lớn theo các hướng khác và không nhạy cảm. Trên mặt cắt ngang của gia tốc kế, do kết quả của sự ăn mòn đẳng hướng, hướng độ dày của dầm nhạy cảm là 35,26 ° (tan35,26 °=0,707) so với hướng bình thường của gia tốc kế (trục z).

(2) Con quay hồi chuyển vi cơ bề mặt

Con quay hồi chuyển truyền thống được tạo thành từ rôto quay tốc độ cao, vòng trong, vòng ngoài và đế, vòng trong và vòng ngoài của con quay hồi chuyển này thường được hỗ trợ bằng vòng bi, chúng thường được làm bằng phương pháp gia công, cần độ chính xác gia công cao, khó khăn, hơn nữa, con quay hồi chuyển được làm bằng khối lượng lớn và khối lượng nặng. Con quay hồi chuyển vi cơ là một thiết bị MEMS với các mạch phát hiện và điều khiển phức tạp. Một con quay hồi chuyển vi cơ bề mặt với các đặc tính tách rời đã được báo cáo bởi SaidEmreAlper et al. Cấu trúc nhạy cảm này có ổ đỡ "neo" ở cả 4 góc bên ngoài của nó, không giống như cách mà ổ đỡ trực tiếp truyền thống được thực hiện trên "neo", nó sử dụng một khối khối nhạy cảm cấu trúc đối xứng để hỗ trợ trên dầm kết nối và thông qua dầm kết nối các điện cực ổ đĩa và điện cực nhạy cảm với nhau một cách hữu cơ. Sau khi phân tích mô phỏng với gói mô phỏng thiết bị vi mô (MEMCAD), người ta biết rằng rung động theo hai hướng không ảnh hưởng đến nhau, do đó, cách kết nối như vậy không cần xem xét khớp nối cơ học.

Các thông số cấu trúc của đường viền bên ngoài mặt phẳng của con quay hồi chuyển vi cơ này là 1 mm 2 và chỉ dày 2/μm. Đây là cách nó hoạt động: Khi một điện áp lệch DC được áp dụng trên khối khối nhạy cảm và điện áp kích thích AC thích hợp được áp dụng giữa các ngón tay nĩa hoạt động và cố định, khối khối nhạy cảm sẽ tạo ra rung động vốn có theo hướng trục y. Khi con quay hồi chuyển cảm thấy vận tốc góc xung quanh trục Z, khối lượng nhạy cảm sẽ tạo ra rung động bổ sung dọc theo trục X do hiệu ứng Koch. Vận tốc góc đo được có thể thu được bằng cách đo biên độ rung của các rung động bổ sung. Trong điều kiện khí quyển thông thường, kết quả nhạy cảm này có độ phân giải 0,37 °/s.

2.3 Cảm biến để giám sát xe và tự chẩn đoán

Khi nói đến giám sát xe và tự chẩn đoán, một ứng dụng chính của công nghệ MEMS sẽ là giám sát áp suất lốp; Tiếp theo là các cảm biến được áp dụng cho các hệ thống làm mát, phanh, v.v. Ngoài ra, chẳng hạn như sử dụng cảm biến ánh sáng trong hệ thống điều khiển độ sáng; Sử dụng cảm biến từ tính, cảm biến tốc độ luồng không khí trong hệ thống lái xe điện tử; Sử dụng cảm biến nhiệt độ trong nhà, cảm biến nhiệt độ hít vào, cảm biến khối lượng không khí, cảm biến ánh sáng mặt trời, cảm biến độ ẩm trong hệ thống điều hòa không khí tự động; Sử dụng cảm biến phương vị, cảm biến tốc độ xe, v.v., trong hệ thống lái xe có hướng dẫn.

2.4 Ứng dụng vi điện tử nhiệt độ cao trong ô tô

Vi điện tử nhiệt độ cao đóng một vai trò rất quan trọng trong việc giám sát điều khiển động cơ ô tô, xi lanh và ống xả, hệ thống treo và phanh điện tử, quản lý và phân phối năng lượng. Ví dụ: cảm biến vi điện tử nhiệt độ cao và bộ điều khiển để điều khiển động cơ sẽ giúp giám sát và kiểm soát quá trình đốt cháy tốt hơn, nó sẽ làm cho quá trình đốt cháy nhiều hơn *, cải thiện hiệu quả đốt cháy. Tuy nhiên, các thiết bị vi điện tử được sản xuất bằng công nghệ bán dẫn silicon truyền thống không còn hoạt động ở nhiệt độ cao. Để giải quyết vấn đề đo nhiệt độ trong môi trường nhiệt độ cao, một vật liệu mới phải được phát triển để thay thế vật liệu bán dẫn truyền thống. Vật liệu bán dẫn băng rộng thế hệ thứ ba SiC có một loạt ưu điểm như điện trường phá vỡ cao, tốc độ trôi điện tử bão hòa cao, độ dẫn nhiệt cao và khả năng chống chiếu xạ mạnh, đặc biệt thích hợp để sản xuất các thiết bị bán dẫn như nhiệt độ cao, điện áp cao, công suất cao và chống chiếu xạ. Cảm biến SiC tích hợp có thể tiếp xúc trực tiếp với bể nhiệt độ cao và ống xả để có thêm thông tin về hiệu quả đốt cháy nhiên liệu và giảm khí thải. Nghiên cứu cho thấy rằng một khi công nghệ bán dẫn SiC có thể giải quyết tốt các vật liệu, bao bì và các công nghệ khác và được phát triển hơn nữa, phạm vi hoạt động của thiết bị công suất SiC sẽ vượt quá các thiết bị công suất silicon truyền thống, và khối lượng của nó cũng nhỏ hơn thiết bị công suất Si.

　　3, Kết luận

Do vai trò quan trọng của cảm biến ô tô trong hệ thống điều khiển điện tử ô tô và nhu cầu thị trường đang phát triển nhanh chóng, các quốc gia trên thế giới rất coi trọng nghiên cứu lý thuyết, ứng dụng vật liệu mới và phát triển sản phẩm mới. Công nghệ cảm biến ô tô trong tương lai, xu hướng phát triển chung là thu nhỏ, đa chức năng, tích hợp và thông minh.

Lợi thế của các cảm biến nhỏ dựa trên công nghệ MEMS trong việc giảm chi phí và cải thiện hiệu suất của các hệ thống điện tử ô tô, chúng đã bắt đầu dần thay thế các cảm biến dựa trên công nghệ cơ điện truyền thống. Với những tiến bộ trong công nghệ nano, các cảm biến nhỏ hơn, ít tốn kém hơn và có chức năng hơn sẽ được sử dụng rộng rãi trong mọi khía cạnh của xe hơi. Trong vài năm tới, các ứng dụng bao gồm quản lý vận hành động cơ, kiểm soát chất lượng khí thải và không khí, hệ thống chống bó cứng phanh, điều khiển động lực xe, điều hướng thích ứng, hệ thống an toàn lái xe sẽ cung cấp một thị trường rộng lớn cho công nghệ MEMS.