Dưới đầu dò, chính xác thế giới vi mô.

Thiết bị trung tâm NS SeriesMáy đo độ dày màng cho bước trángNó là một công cụ đo lường hồ sơ vi mô tiếp xúc siêu chính xác. Nền tảng XY chính xác của nó kết hợp với bàn xoay điện xoay liên tục 360 °. Nó có thể điều chỉnh vị trí và góc của mẫu. Vị trí ba chiều có thể được điều chỉnh, có lợi cho việc điều chỉnh mẫu. Nó chủ yếu được sử dụng để đo các thông số hình dạng vi mô như chiều cao của bước, độ dày của lớp màng và độ nhám bề mặt.

Dòng NSMáy đo độ dày màng cho bước trángSử dụng cảm biến điện dung vi sai biến tuyến tính LVDC, có khả năng điều chỉnh lực siêu nhỏ và độ phân giải của lớp Yaai, đồng thời, nó tích hợp công nghệ cốt lõi như thu thập tín hiệu tiếng ồn cực thấp, điều khiển chuyển động siêu mịn, thuật toán định danh và các công nghệ cốt lõi khác, làm cho thiết bị có độ chính xác đo cực cao và độ lặp lại đo lường.

Tính năng sản phẩm

1. Độ lặp lại và tái tạo tuyệt vời, đáp ứng các yêu cầu về độ chính xác đo lường của phần được thử nghiệm

Cảm biến điện dung vi sai biến tuyến tính (LVDC) với độ phân giải Sub-Ai Cập lên đến 0,01 Ai Cập ở phạm vi 13um. Tỷ lệ tín hiệu tiếng ồn cao và lỗi tuyến tính thấp cho phép sản phẩm quét các đặc điểm hình dạng từ vài nanomet đến vài trăm micron.

2. Cảm biến lực siêu nhỏ: (1-50) mg có thể điều chỉnh

Lực đo được điều chỉnh liên tục để phù hợp với bề mặt vật liệu cứng hoặc mềm. Thiết kế quán tính cực thấp và điều khiển lực điện từ nhỏ cho phép đo tiếp xúc chính xác mà không bị tổn thương tiếp xúc.

3. Nền tảng quét siêu phẳng

Hệ thống có đường sắt hướng dẫn độ thẳng siêu cao, chặn đứng sự rung động nhỏ trong vận động, nâng cao độ chính xác quét, phản ánh chân thực hình dạng nhỏ của linh kiện làm việc.

4. Hệ thống định vị quang học trên cùng, camera màu độ phân giải cực cao 5MP

5. Bàn vận chuyển XY tự động, nâng tự động trục Z, bàn xoay Theta tự động 360 °

6. Hệ thống thu thập và phân tích dữ liệu mạnh mẽ

Phần mềm Step Meter bao gồm một số mô-đun để hỗ trợ đầy đủ cho việc đo chiều cao và đánh giá phân tích của các bộ phận đo lường khác nhau.

Chức năng sản phẩm

1. Chức năng đo thông số

1) Chiều cao bước: có thể đo chiều cao bước nano đến 330 μm hoặc 1050 μm, có thể đo chính xác khắc, phún xạ, SIMS、 Vật liệu được lắng đọng hoặc loại bỏ trong quá trình lắng đọng, sơn xoắn, CMP, v.v.

2) Độ nhám và độ gợn sóng: có thể đo độ nhám và độ gợn sóng của mẫu, phần mềm phân tích bằng cách tính toán các đường cong đường viền vi mô được quét, có thể thu được hàng chục thông số như Ra, RMS, Rv, Rp, Rz và độ nhám liên quan đến độ gợn sóng.

3) Đo ứng suất: Có thể đo ứng suất bề mặt của nhiều vật liệu.

2. Chế độ đo và chức năng phân tích

1) Chế độ đo đơn vùng: Sau khi hoàn thành Focus, bạn có thể bắt đầu đo bằng cách thiết lập điểm bắt đầu quét và độ dài quét theo biểu đồ điều hướng hình ảnh.

2) Chế độ đo đa vùng: Sau khi hoàn thành Focus, hoàn thành thiết lập đường dẫn quét đơn vùng theo biểu đồ điều hướng hình ảnh, có thể dựa vào khoảng cách ngang và dọc để mảng hình thành một số đến hàng chục hàng trăm chế độ đo đa vùng được tạo thành bởi đường dẫn quét, một cú nhấp chuột có thể hoàn thành tất cả các phép đo tự động của đường dẫn quét.

3) Chế độ đo 3D: Sau khi hoàn thành Focus hoàn thành thiết lập đường dẫn quét khu vực đơn theo bản đồ dẫn đường hình ảnh và có thể hoàn thành thiết lập toàn bộ khu vực bề mặt quét theo chiều rộng khu vực cần quét hoặc khoảng cách và số lượng đường quét, một cú nhấp chuột có thể tự động hoàn thành việc quét toàn bộ khu vực bề mặt quét và xây dựng lại hình ảnh 3D.

4) Phân tích thống kê SPC: Hỗ trợ phân tích nhiều tham số chỉ số cho các loại thử nghiệm khác nhau, cung cấp biểu đồ SPC để thống kê xu hướng thay đổi cho dữ liệu đo của các mẫu hàng loạt.

3. Chức năng hình ảnh quang học điều hướng kép

Trong mô hình NS200-D được trang bị máy ảnh màu 500W pixel nhìn thẳng hoặc nghiêng, đường quét có thể được thiết lập chính xác trong hệ thống hình ảnh dẫn đường đối mặt và theo dõi đường quét trong thời gian thực trong hệ thống hình ảnh dẫn đường nghiêng.

4. Chức năng thay đổi kim nhanh

Việc sử dụng kim hút từ tính, khi cần thực hiện hoạt động thay đổi kim, kim quét có thể được thay thế nhanh chóng tại chỗ và theo mô-đun định danh trong phần mềm để đánh dấu nhanh chóng, đảm bảo độ chính xác và độ lặp lại sau khi thay đổi kim, giảm sự lo lắng về bảo trì.

Biểu đồ xuất hiện vật lý của kim hút từ (phạm vi 330 μm)

Ứng dụng tiêu biểu

Một số chỉ số kỹ thuật

Xin lưu ý: Do nhu cầu phát triển thị trường và phát triển sản phẩm, các nội dung liên quan trong tài liệu sản phẩm này có thể được cập nhật hoặc sửa đổi bất cứ lúc nào theo tình hình thực tế mà không cần thông báo trước, xin vui lòng thông cảm về sự bất tiện.