Công nghệ giao thoa laser có ưu điểm là độ nhạy cao, phạm vi lớn và có thể thích ứng với môi trường khắc nghiệt, sóng ánh sáng có thể xác định mét trực tiếp và dễ dàng tìm nguồn. Máy đo laser sợi quang PLR3000 tự nghiên cứu dựa trên nguyên lý giao thoa đo laser, là thiết bị phát hiện vị trí tiên tiến có độ chính xác cao, độ nhạy cao, hiệu quả và nhanh chóng. Nó có lợi thế trong lĩnh vực đo lường độ chính xác cao không tiếp xúc, so với quy tắc dải thép truyền thống hoặc lưới thủy tinh, có khoảng cách cổng chính xác hơn và độ phân giải cao hơn, đồng thời thiết kế cách ly nguồn nhiệt của nó, đảm bảo độ ổn định cao hơn, đồng thời có các tính năng như lắp đặt nhanh chóng và chuẩn trực dễ dàng. Nó được sử dụng rộng rãi trong vi điện tử, vi cơ khí, vi quang học và các lĩnh vực công nghệ cao khác như chế tạo gia công siêu chính xác hiện đại, công nghệ in thạch bản và hàng không vũ trụ.

Thành phần của thước đo laser sợi quang

Thước đo laser sợi quang bao gồm thiết bị phát laser, đầu dò giao thoa, gương và các bộ phận khác.

1. Thiết bị phát laser

Thiết bị phát laser tích hợp nguồn sáng laser helium neon ổn định cao, độ chính xác tần số ổn định 0,05ppm (tùy chọn 0,02ppm). Dẫn laser đến đầu dò giao thoa bằng sợi quang bọc thép để nhận ra nguồn nhiệt bị cô lập khỏi đầu dò đo. Thiết bị phát laser được xây dựng trong hệ thống xử lý tín hiệu chính xác cao, có thể trực tiếp xuất tín hiệu trực giao kỹ thuật số RS422 thời gian thực và tín hiệu tương tự trực giao với độ phân giải có thể cấu hình của người dùng, cũng có thể được phát triển thứ cấp thông qua USB-SDK.

2. Đầu dò giao thoa

2.1. Đầu dò giao thoa vi sai (DI)

Đầu dò giao thoa vi sai xuất ra hai chùm laser (ánh sáng tham chiếu và ánh sáng đo), được phản xạ bằng gương phẳng cố định và gương phẳng di động tương ứng để đạt được tần số quang học gấp bốn lần, với độ phân giải hệ thống cao hơn và lỗi phi tuyến nhỏ hơn. Đặc biệt thích hợp để đo chuyển động tương đối giữa cột trục Z và nền tảng chuyển động, loại bỏ các lỗi do trôi nhiệt của tường bên trong và rung/chuyển động của cột, là sự lựa chọn của sơ đồ độ chính xác cấp nano.

2.2. Đầu dò giao thoa gương phẳng (PI)

Đầu dò giao thoa gương phẳng sử dụng hệ thống giao thoa ánh sáng kép, kết hợp với gương phẳng để đạt được tần số quang học gấp bốn lần, có độ phân giải hệ thống cao hơn, sử dụng hệ thống hai trục, kết hợp với gương phẳng dài, đặc biệt thích hợp cho các ứng dụng điều khiển và đo chuyển động nền tảng XY. Cung cấp hai cấu hình phát sáng 0 °, 90 °.

2.3. Đầu dò giao thoa lăng kính góc (RI)

Đầu dò giao thoa lăng kính góc, dễ lắp đặt và độ chính xác cao, thích hợp cho phép đo tuyến tính trục đơn hoặc phản hồi vị trí, khoảng cách đo lên đến 10 mét, có thể tùy chỉnh 40 mét, được sử dụng rộng rãi trong định vị chuyển động và hiệu chuẩn thiết bị. Cung cấp hai cấu hình phát sáng 0 °, 90 °.

Đặc điểm kỹ thuật của thước đo laser sợi quang

1. Đo lường độ chính xác cao: Độ chính xác đo tuyến tính có thể đạt 0,5ppm;

2. Độ chính xác ổn định tần số laser cao: ổn định tần số laser lên đến 0,05ppm (tùy chọn với 0,02ppm)

3. Độ phân giải cao: độ phân giải vốn có lên đến 10nm, có thể được cấu hình với các độ phân giải khác nhau, có thể mở rộng phân khúc hơn nữa để đạt được độ phân giải cao hơn.

4. Đo tốc độ cao: tốc độ đo tối đa có thể đạt trên 2000mm/s;

5. Chiều dài phạm vi: phạm vi đo có thể đạt hơn 4m, có thể được tùy chỉnh 40 mét;

6. Cài đặt dễ dàng và dễ dàng để chuẩn trực: kích thước nhỏ và linh hoạt để cài đặt, có thể làm giảm đáng kể lỗi Abbe; Đầu dò giao thoa được cấu hình với thiết bị điều chỉnh góc, dễ dàng đạt được chuẩn trực chùm tia;

7. Đo cách ly nguồn nhiệt đường quang: thiết bị phát laser được tách ra khỏi đầu dò đo, đầu dò không có nguồn nhiệt, có thể tránh ảnh hưởng của tản nhiệt của máy chính trên đường đo;

8. Đầu ra đa kênh: Lên đến ba đầu dò có thể được kết nối đồng thời, dễ dàng nhận ra phép đo đồng thời đa trục và đo đa độ tự do;

9. Giao diện đầu ra đa dạng: Giao diện đầu ra máy chủ chứa giao diện USB và giao diện đầu ra vị trí, giao diện đầu ra vị trí có TTL khác biệt (RS-422/EIA-422), tín hiệu cosin dương (SinCos1Vpp), USB-SDK.

Xác minh ứng dụng thước đo laser sợi quang

Máy đo laser sợi quang PLR3000 series đã được xác minh độ chính xác ở một số khách hàng: điều khiển vòng kín của bảng dịch chuyển nano có độ chính xác cao bằng đầu dò giao thoa vi sai (DI) để đạt được độ chính xác điều khiển vị trí nano ở bất kỳ vị trí nào trong hành trình 10 mm.