Giới thiệu về nguyên lý của máy đo áp suất chênh lệch 1. Nguyên tắc 2. Tổng quan về cảm biến áp suất khác biệt 3. So sánh phương pháp phát hiện áp suất vi sai và phương pháp phát hiện áp suất trực tiếp

(1) Phương pháp kiểm tra áp suất vi sai giới thiệu áp suất không khí được áp dụng đồng thời cho sản phẩm thử nghiệm (phôi) và sản phẩm thử nghiệm chuẩn (sản phẩm tiêu chuẩn), sau khi cảm biến áp suất vi sai có độ nhạy cao được sử dụng để đo sự thay đổi áp suất trong phôi gây ra bởi rò rỉ, so sánh với sự khác biệt về áp suất trong sản phẩm tiêu chuẩn, để xác định phương pháp rò rỉ.

(2) Hành động đột quỵ của máy đo rò rỉ không khí Bước đầu tiên: bắt đầu kẹp phôi niêm phong sau khi đầu vào tín hiệu khởi động Bước thứ hai: đột quỵ áp lực (CHG) để áp dụng áp lực kiểm tra trong vật phẩm thử nghiệm, vật phẩm thử nghiệm điểm chuẩn Bước thứ ba: cân bằng đột quỵ (BAL) đóng van điều khiển không khí trong máy kiểm tra 1, van 2, và các bộ phận kiểm tra tạo thành một vòng khép kín, phát hiện sự khác biệt áp suất giữa vật phẩm thử nghiệm và vật phẩm thử nghiệm điểm chuẩn (đột quỵ này là thời gian chờ cho sự dao động áp suất ổn định sau khi van đóng, cũng là đột quỵ để phát hiện rò rỉ lớn) Bước thứ tư: phát hiện đột quỵ (DET) để phát hiện rò rỉ nhỏ Bước thứ năm: xả/hoàn thành xả không khí trong phôi, đầu ra tín hiệu xác định có đủ điều kiện hay không

2. Nguyên tắc tổng quan về cảm biến áp suất vi sai đến từ tác động trực tiếp của áp suất ở cả hai bên trên màng ngăn của cảm biến áp suất vi sai, màng ngăn sẽ phát hiện sự dịch chuyển nhỏ do áp suất vi sai gây ra thành sự thay đổi trở kháng, chuyển đổi thành đầu ra tín hiệu điện tương ứng. Bởi vì nó được sử dụng để truyền chất lỏng niêm phong qua màng ngăn cho các yếu tố đo lường, do đó, trong tình trạng quá áp, không khí chứa tạp chất, nó là khó khăn hơn để làm hỏng cảm biến.