Ngày 4 tháng 9 năm 2025, Hội chợ triển lãm vật liệu và linh kiện cốt lõi thiết bị bán dẫn lần thứ 13 đã được tổ chức trọng thể tại Trung tâm triển lãm quốc tế Thái Hồ Vô Tích. Hội nghị thường niên về thiết bị bán dẫn lần này với chủ đề "làm mạnh lõi Trung Quốc và nắm lấy thế giới cốt lõi", hội tụ các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn, các doanh nghiệp sản xuất cảm biến và các doanh nghiệp thượng lưu và hạ lưu trong chuỗi công nghiệp, các chuyên gia và học giả của các viện nghiên cứu khoa học, chia sẻ kết quả nghiên cứu khoa học mới nhất và các trường hợp ứng dụng thực tế, cùng nhau tìm hiểu làm thế nào để cho phép nâng cấp ngành công nghiệp thông qua đổi mới công nghệ.



KANOMAX mang theo bộ đếm hạt bụi, máy đo gió nhiệt, máy phát tốc độ gió, máy đo vi sai và các dụng cụ phát hiện khác xuất hiện tại gian hàng B3-328.









Dòng người trước quầy triển lãm bắt đầu khởi động, nhân viên nghiên cứu phát triển của doanh nghiệp vật liệu bán dẫn, người phụ trách kỹ thuật của nhà máy Fab nhao nhao dừng chân tư vấn, nhân viên công tác dã ngoại kiên nhẫn tỉ mỉ giới thiệu đặc điểm tính năng, cảnh tượng ứng dụng của dụng cụ, cũng tiến hành biểu diễn sản phẩm tại chỗ, để mọi người trực quan cảm nhận tính năng xuất sắc của sản phẩm.





Ứng dụng đếm hạt trong môi trường sản xuất chất bán dẫn
Trong quá trình sản xuất chip bán dẫn, yêu cầu về độ sạch của môi trường sản xuất cao hơn, phải cấm ngắn mạch hoặc đứt mạch tinh thể do các hạt bụi, độ lệch của quá trình và các yếu tố khác, kiểm soát số lượng hạt siêu nhỏ trong trang web hoạt động trong môi trường làm sạch để đảm bảo chất lượng sản phẩm và nâng cao tỷ lệ sản phẩm.



Trong quá trình sản xuất chip bán dẫn, bộ đếm hạt chủ yếu được áp dụng cho:
1. Phát hiện quy trình sản xuất tại nhà máy Fab: Trong nhiều liên kết quy trình như in thạch bản wafer, phát triển keo và khắc, sử dụng bộ đếm hạt để phát hiện các hạt bụi trong môi trường và đảm bảo độ chính xác của quy trình.
2. Quá trình đóng gói: Trong quá trình đóng gói cắt wafer, bộ đếm hạt cũng đóng một vai trò quan trọng, đảm bảo chất lượng đóng gói.
3. Giám sát chất lượng của quá trình sản xuất thiết bị bán dẫn: Giám sát các điểm quá trình của thiết bị thông qua bộ đếm hạt để đảm bảo sự ổn định của quá trình sản xuất và chất lượng sản phẩm.



Bộ đếm hạt bụi siêu nhỏ 3950, được thiết kế đặc biệt cho môi trường sản xuất chip bán dẫn, có thể giám sát chính xác các hạt nhỏ 0,1μm và 0,3μm, với ưu điểm nhẹ đến nhỏ, cũng có thể được sử dụng làm cảm biến nhúng vào thiết bị sản xuất để giám sát thời gian thực các hạt siêu nhỏ tại địa điểm hoạt động, cung cấp cơ sở đáng tin cậy để đánh giá độ sạch của môi trường hoạt động sạch. Với công nghệ kiểm tra chính xác cấp 0,1μm, xây dựng một phòng tuyến chất lượng vững chắc cho mọi liên kết vi mô được sản xuất bởi "lõi Trung Quốc".




Máy đo gió được sử dụng trong môi trường sản xuất chất bán dẫn
Trong sản xuất chất bán dẫn, phát triển, khắc, cắt và các liên kết công nghệ quan trọng khác, tốc độ gió xung quanh (tốc độ gió cục bộ trong phòng sạch và thiết bị) ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác của quá trình, tỷ lệ tốt và độ tin cậy của sản phẩm. Tốc độ gió hợp lý có thể tạo thành một "trường dòng chảy lớp/loạn lưu" ổn định, mang theo các hạt nhỏ (như dư lượng photography, sản phẩm phụ khắc, bụi cắt) để tránh sự bám dính của chúng vào bề mặt wafer dẫn đến khuyết tật;
Đồng thời, tốc độ gió bất thường (quá cao/quá thấp/không đều) có thể trực tiếp gây ra tổn thất tỷ lệ tốt. Ví dụ, tốc độ gió dao động 5% trong liên kết in thạch bản có thể dẫn đến độ lệch chiều rộng đường 0,03 μm (độ lệch chiều rộng đường quy trình 7nm cho phép chỉ 0,02 μm), trực tiếp dẫn đến lỗi chip.



Thiết bị phát triển keo có yêu cầu cao về độ sạch của môi trường sản xuất, đặc biệt là trong quá trình sơn và phát triển, ô nhiễm của các hạt nhỏ có thể dẫn đến lỗi mô hình in thạch bản, ảnh hưởng đến hiệu suất của chip. Cần cung cấp không khí sạch thông qua các bộ lọc HEPA hoặc ULPA, loại bỏ hiệu quả các hạt khỏi môi trường và đảm bảo bề mặt wafer không bị ô nhiễm, do đó cải thiện độ chính xác và tỷ lệ hoàn thành của mẫu in thạch bản.



Máy kiểm tra môi trường KANOMAX 65Ser có thể nắm bắt chính xác sự thay đổi tốc độ gió trong phòng sạch và bên trong thiết bị, cho dù đó là biến động tốc độ gió nhỏ hoặc sự khác biệt tốc độ gió trong khu vực địa phương, đồng thời đo tốc độ gió, nhiệt độ, độ ẩm, áp suất, hình dạng và kích thước của phần đường ống đầu vào để tính toán khối lượng gió, 8 loại đầu dò có thể được lựa chọn, với độ chính xác cao, khả năng thay thế đầu dò, ổn định, dễ vận hành và hiển thị đo lường đa thông số được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp thiết bị sản xuất chất bán dẫn.



KANOMAX đã làm việc trong lĩnh vực công nghệ sạch bán dẫn trong nhiều năm và đã giành được sự tin tưởng và công nhận của nhiều khách hàng. Công ty sẽ tiếp tục tăng cường đầu tư nghiên cứu và phát triển, liên tục đưa ra các sản phẩm và công nghệ mới cạnh tranh, đáp ứng nhu cầu thay đổi và nâng cấp liên tục của thị trường, góp phần lớn hơn vào việc thúc đẩy sự phát triển và tiến bộ của ngành công nghiệp bán dẫn.
Cảm ơn các bạn đã đến tham quan và giao lưu tại Đài triển lãm Ca - na - đa, ngày mai sẽ tiếp tục tốt đẹp, chúng ta cùng chứng kiến hành trình phát triển ngành bán dẫn mới!