Ứng dụng và các điểm kỹ thuật của đồng hồ đo lưu lượng khối khí nhỏ

Đồng hồ đo lưu lượng khối khí nhỏ là một cảm biến quan trọng để đo chính xác lưu lượng khối khí. Với những ưu điểm như thu nhỏ, độ chính xác cao và phản ứng nhanh, nó được sử dụng rộng rãi trong tự động hóa công nghiệp, thiết bị y tế, giám sát môi trường, v.v.

Lĩnh vực ứng dụng cốt lõi

1. ‌Kiểm soát quy trình công nghiệp‌
   Trong sản xuất chất bán dẫn, ngành công nghiệp quang điện, cần phải kiểm soát chính xác dòng chảy của khí quá trình (ví dụ: argon, nitơ). Đồng hồ đo lưu lượng nhỏ đảm bảo sự ổn định của quá trình lắng đọng, khắc và các quy trình khác bằng cách theo dõi lưu lượng khí trong thời gian thực. Trong quá trình hóa học, nó cũng có thể được sử dụng để giám sát khí dễ cháy và tối ưu hóa tỷ lệ khí phản ứng.

2. ‌Thiết bị hô hấp y tế‌
   Máy thở, máy gây mê và các thiết bị khác phụ thuộc vào đồng hồ đo lưu lượng nhỏ để thực hiện giám sát khối lượng thủy triều, lỗi cần được kiểm soát trong±2%Trong vòng. Khả năng phát hiện cấp độ vi mô của nó cho phép theo dõi chính xác dạng sóng hô hấp của bệnh nhân, cung cấp hỗ trợ dữ liệu quan trọng cho điều trị suy hô hấp.

3. ‌Hệ thống giám sát môi trường‌
   Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (SO₂、NOx(v. v.), phối hợp với thiết kế thu nhỏ có thể tích hợp trực tiếp vào nền tảng kiểm tra máy bay không người lái. Trong trạm giám sát chất lượng không khí đô thị, có thể đo đồng bộChất lượng PM2.5VớiCO₂Dữ liệu lưu lượng, xây dựng mô hình khuếch tán ô nhiễm.

Đột phá công nghệ quan trọng

1. ‌Tối ưu hóa nguyên tắc đo nhiệt‌
   Sử dụng công nghệ phân phối nhiệt chênh lệch nhiệt độ không đổi, thông qua sự phối hợp của các yếu tố làm nóng vi mô với cảm biến nhiệt độ thượng nguồn và hạ nguồn, để đạt được0,5-1000ml / phútPhạm vi bao phủ. Cơ thể làm nóng màng silicon nitride mới làm giảm thời gian đáp ứng xuống80ms,Giảm tiêu thụ điện năng40%。

2. ‌Sản phẩm MEMSĐổi mới quy trình‌
   -Hiển thị manipulator (DRIE) Cấu trúc microrunner được sản xuất bởi công nghệ, nén kích thước runner đến200μmCấp bậc. Công nghệ đóng gói ba chiều cho phép tích hợp cấp chip của cảm biến với mạch xử lý tín hiệu, cho phép giảm kích thước thiết bị xuống15 × 10 × 5mm³。

3. ‌Thuật toán bù nhiệt độ thông minh‌
   Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (Sản phẩm LS-SVMThuật toán xây dựng mô hình ghép nối đa trường vật lý, trong-20℃~85℃Ở nhiệt độ môi trường xung quanh, hạn chế lỗi trôi nhiệt độ trong± 0,8% FSTrong vòng.

4. ‌Truyền dẫn không dây tiêu thụ điện năng thấp‌
   Áp dụngLoRaWANGiao thức truyền thôngNội dung NB-IoTMô-đun, dòng điện làm việc giảm xuống3.2mA@3.3VKết hợp với công nghệ thu thập năng lượng có thể đạt được độ bền 5 năm của các nút giám sát thụ động, đặc biệt thích hợp cho mạng lưới giám sát khí phân tán.

Hiện tại, với IoT và sản xuất thông minh sâu hơn, đồng hồ đo lưu lượng khí nhỏ đang hướng tới phát hiện hợp nhất đa thông số (áp suất)/nhiệt độ/Phát triển theo hướng nhất thể hóa lưu lượng, chức năng tự chẩn đoán. Tin tức mới nhất về honeywell mỹHFDMột loạt các sản phẩm, đã được thực hiện0.25%Độ chính xác đồng thời có chức năng tự làm sạch hạt, đánh dấu độ chín muồi kỹ thuật của lĩnh vực này đạt tới tầm cao mới.